알루미나 장착베이스 플레이트

Semicorex Alumina 장착베이스 플레이트는 반도체 제조 장비에 작업 척을 장착하기위한 내구성 있고 안정적인베이스로 설계된 고급 세라믹 제품입니다. 이 플레이트는 리소그래피, 에칭, 증착 및 검사와 같은 웨이퍼 처리 작업에 중요한 기계적지지 및 정렬을 제공합니다. 필요한 충실도로 웨이퍼 처리가 발생할 수 있도록 작업 척을 다른 시스템 구성 요소와 정확하게 정렬해야합니다. 플레이트는 공정 및 클린 룸 환경 모두에서 현대 반도체 제조의 가혹한 요구 사항을 충족시키기 위해 필요한 평탄도, 고온 내구성 및 장기 신뢰성을 달성하기 위해 세라믹에 특이적인 가공 기술을 통해 제조됩니다.

Semicorex Alumina 장착베이스 플레이트는 고순도로 만들어집니다알루미나순도 수준이 level 99.5% (일반). 고순도 알루미나는 기계적 및 열 특성과 경도가 우수합니다. 고순도 알루미나는 우수한 고유의 전기 절연 특성을 가지며,이 플레이트는 전기 간섭이 문제가 될 수있는 진공 및 고전압 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 알루미나는 열 사이클링에 저항력이있어 플레이트가 대부분의 재료보다 더 나은 치수 정확도를 유지할 수 있으며 열 팽창 감소로 인해 정렬 또는 구조적 안정성을 유지하는 데 유리합니다. 이 요소는 연장 된 생산주기를 통해 작동하면서 척 반복성 및 암시 적 프로세스 공차를 보장하는 데 중요합니다.

반도체 처리 시스템에서, 마운팅베이스 플레이트는 단순히 기계적 고정 장치가 아닙니다. 척과 나머지 장비 사이의 열 접촉 매체이며 열 소산, 구조적 무결성 및 진동 분리에 중요합니다. 고온 및 진공 압력이 흔한 CVD, PVD 또는 이온 주입과 같은 (그러나 제한되지는 않지만) 처리 작용은 열적으로 저항성, 화학적으로 불활성 및 저항성, 기계적으로 사운드 및 열 충격에 내성을 갖기 위해 장착베이스가 필요합니다. 화학적 불활성은 마운트가 반응성 가스와 호환 될뿐만 아니라 화학 물질을 청소하고 마운트의 유용한 수명을 연장하고 오염을 방지하기 때문에 중요합니다.

Semicorex로 만든 모든 Alumina 장착베이스 플레이트는 반도체 OEM 및 장비 통합자가 요구하는 공차로 가공됩니다. 플레이트는 최대 안정성과 반복성을 보장하기 위해 두께, 높이 변화 및 평탄도에 대한 단단한 공차로 가공됩니다. 이 장착 플레이트는 작업 척, 기계적 단계 또는 기타 장비를 더 잘 수용하기 위해 장착 구멍, 슬롯 또는 카운터 싱크로 만들 수 있습니다. 알루미나 세라믹은 현대적인 소결 및 정밀 연삭 기술을 사용하여 처리되어 균일 한 미세 구조 및 표면 품질을 최적화하여 시간이 지남에 따라 일관된 열 접촉 및 정렬을 보장합니다.

Semicorex Alumina 장착베이스 플레이트는 웨이퍼 핸들러, 로봇 전송 시스템, 진공 Chuck 어셈블리 및 계측 단계를 포함한 다양한 응용 분야에서 사용됩니다. 다양한 까다로운 프로세스 상황에서 이러한 신뢰성과 내구성으로 인해 강력하고 오래 지속되는 낮은 유지 보수 세라믹 구성 요소를 찾고있는 도구 제조업체와 함께 선택한 제품이됩니다. 우리의 엔지니어링 그룹은 고객과 파트너 관계를 맺고 각 플레이트에 지정된 고유 한 솔루션을 제공하여 반도체에서의 생산 효율을 극대화합니다.

알루미나 장착베이스 플레이트는 단순한 기계적지지가 아닙니다. 반도체 산업의 정밀 엔지니어링의 핵심 요소입니다. 우수한 기계적 안정성, 순도 및 구성 성을 통해 광범위한 공정 도구에서 정확한 정렬, 장수 및 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다. 고성능 장착 기본 플레이트의 경우 오늘날의 반도체 제조업체 인 Trust Semicorex에 대한 높은 기대치를 충족하십시오.