알루미나 로봇 팔

Semicorex Alumina Robot Arm은 반도체 생산에서 웨이퍼 처리 및 전송 작업을 위해 설계된 고성능 세라믹 부품입니다. 고순도 Alumina Ceramic (Al₂o₃)으로 제작 된이 로봇 암은 클리닝 룸에서 유연성, 정밀, 신뢰성 및 내구성을 제공합니다.

Alumina Robot Arm에 유리한 눈에 띄는 것은 속성입니다.알루미나 세라믹기계적 강도와 경도. 처럼알루미나더욱 순수하게 만들어지고, Alumina는 더 나은 구조적 무결성을 유지하고 기계적 마모 및 변형에 더 강하게 만듭니다. 재료로서, Alumina는 섬세하고 반복적 인 웨이퍼 취급 작업에 사용되는 로봇 부품에 대한 훌륭한 선택입니다. 즉 로봇 암이 동일한 기능을 수행하고 웨이퍼와 접촉 해야하는 경우 로봇 암에 의해 웨이퍼에 적용되는 사소한 왜곡은 시설 수율 손실 비용이들 수 있습니다. 높은 경도, 즉 강성 표면은 연마성 저항과 기능적 수명, 즉 로봇 구성 요소의 서비스/ 교체 기간을 연장하는 데 도움이 될 수 있습니다.

기계적 내구성 외에도 Alumina Robot Arm은 우수한 전기 절연체입니다. 저항력은 최대 10Ω Ω · cm이며, 단열 강도는 실온에서 최대 15kV/mm이며, 특히 가공 장비에서 전기 신호를 간섭해야 할 때 훨씬 안전한 환경을 제공합니다. 이는 정전기 방전 (ESD) 손상의 위험이 최소 인 프로세스간에 전달되는 민감한 반도체 구성 요소를 보호 할 때 중요합니다.

알루미나 세라믹은 매우 높은 온도에서 안정성을 유지하는 데 탁월합니다. 용융점은 약 2050 ° C이며 뒤틀림 또는 치수 정확도없이 반도체 열 처리에서 고온을 견딜 수 있습니다. 높은 내열 저항은 ARM을 빠른 열 어닐링 (RTA) 또는 화학 증기 증착 (CVD)과 같은 공정에서 사용하여 정밀 정렬 및 열 안정성이 중요합니다.

Alumina Robot Arm의 다른 중요한 이점 중 하나는 불활성입니다. 그 표면은 반도체 제조에 사용되는 대부분의 세척제 및 공정 가스에 불활성입니다. 따라서, 오염이없는 상태로 유지되며 웨이퍼 표면 오염에 기여하지 않습니다. 이 화학적 불활성은 매우 세련된 생산 조건을 달성하고 일관된 장치 성능을 제공하는 데 중요합니다.

알루미나 세라믹또한 반도체 툴링을위한 저렴한 옵션입니다. 원료로 쉽게 구할 수 있으며 Alumina Ceramics의 가공 공정은 잘 이해되고 쉽게 확장 가능합니다. 이를 통해 고품질 부품을 경쟁력있는 가격으로 생산할 수있는 재현 가능하고 일관된 공차가 가능합니다. 성능과 경제성의 혼합으로 인해 Alumina Robot Arm은 은행을 깨지지 않는 안정적인 자동화 구성 요소가 필요한 OEM 및 반도체 팹에 이상적입니다.

요약하면, Alumina Robot Arm은 높은 기계적 성능, 높은 유전체 성능, 높은 열 저항, 높은 화학 성능을 제공하며, 모두 경제적 인 가격으로 입증 된 제조 가능성을 제공합니다. 종합적으로 이러한 성능 특성은 반도체 제조의 정밀 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 신뢰할 수 있고 효율적으로 만들어 수율이 향상되어 오염 위험을 낮추고 전반적인 장비 효율성을 향상시킬 수 있습니다.