환형 홈이 있는 알루미나 척

Semicorex 환형 홈이 있는 알루미나 척은 일련의 여러 동심 환형 홈으로 구성된 표면 구조를 채택합니다. 진공 펌프와 연결하면 이 홈이 링 모양의 부압 영역을 형성하여 얇은 웨이퍼와 작업물을 정확한 위치에 안정적으로 고정합니다. Semicorex 환형 홈이 있는 알루미나 척은 엄격한 평탄도 관리와 균등하게 분산된 흡착력이 필요한 작업 조건에서 잘 작동합니다. 이는 웨이퍼 고정, 노광 포지셔닝, 플라즈마 에칭은 물론 웨이퍼 검사 및 이송 공정에 널리 적용됩니다.

Semicorex 환형 홈 알루미나 척의 장점

1. 탁월한 고온 저항

치밀화 소결로 제조된 알루미나 세라믹은 뛰어난 열 성능을 나타냅니다. 이러한 재료 특성으로 인해 Semicorex 환형 홈 알루미나 척은 장기간 사용 시 구조적 변형 및 성능 저하 없이 극한의 고온 작업 환경에서 안정적으로 작동합니다.

2. 균일한 흡착력

세미코어렉스 환형 홈알루미나 척안정적인 링 모양의 진공 영역이 형성되는 흡착 표면에 여러 개의 환형 홈이 있습니다. 이러한 구성은 주요 웨이퍼 접촉 영역 전체에 걸쳐 일관된 흡착력을 가능하게 하여 부분적인 웨이퍼 변형 및 휨을 크게 낮춥니다.

3. 뛰어난 구조적 안정성과 높은 반복 위치 정확도

우수한 재료 강성과 구조적 안정성을 자랑하는 Semicorex 환형 홈 알루미나 척은 장기간 반복되는 진공 클램핑 작업 중에 우수한 평탄도와 일관된 위치 정확도를 유지할 수 있습니다.

4. 강한 화학적 내식성

때문에알루미나신뢰할 수 있는 화학적 안정성을 갖춘 Semicorex 환형 홈 알루미나 척은 대부분의 산성 및 알칼리성 물질은 물론 다양한 부식성 공정 가스에 대한 탁월한 저항성을 갖추고 있으며 까다로운 부식성 작동 조건에 매우 적합합니다.

5. 우수한 청결도

엄격한 재료 순도 제어 및 치밀화 처리 덕분에 Semicorex 환형 홈 알루미나 척은 사용 중에 입자를 흘리거나 불순물을 방출하는 일이 거의 없으며 이는 반도체 클린룸의 엄격한 저오염 표준을 완전히 충족합니다.

세미코렉스를 선택하는 이유는 무엇입니까?

중국의 업계 선두 기업인 Semicorex는 통합 생산 라인과 경험이 풍부한 기술 팀의 지원을 받고 있습니다. 우리는 고객에게 맞춤형 기술 지원과 최적화된 프로세스 솔루션을 제공할 수 있으며 재료 순도, 척 모양, 치수, 평탄도, 공차 및 기타 요구 사항에 따라 환형 홈 알루미나 척의 비표준 맞춤 제조를 제공할 수 있습니다.