블랙 알루미나 세라믹 진공 척

검은색알루미나 세라믹Al2O₃를 주성분으로 하고, 착색제인 전이금속산화물과 소결조제를 첨가하여 고온에서 소결한 제품입니다. 독점적인 비율로 제조된 블랙 알루미나 세라믹은 35%~40% 범위의 제어된 다공성을 달성하고 기공 크기는 마이크로미터 또는 나노미터 규모에 도달할 수 있습니다. Semicorex 블랙 알루미나 세라믹 진공 척은 이 미세 다공성 블랙 알루미나 세라믹으로 꼼꼼하게 제조됩니다. 일반적으로 진공 장비에 연결되는 Semicorex 블랙 알루미나 세라믹 진공 척은 균일하게 분포된 미세 기공을 활용하여 반도체 웨이퍼와 기판을 견고하고 균등하게 고정하고 고정함으로써 처리 작업 중에 중단 없는 안정성을 보장합니다.

세미코렉스 블랙 알루미나 세라믹 진공척의 장점

1. 안정적이고 균일한 클램핑 및 고정 성능

2. 미광 억제를 위한 탁월한 광학 특성

3. 높은 경도, 강도, 내마모성, 내열성 및 내식성과 같은 우수한 재료 특성

4. 긴 수명

5. 비용 효율적인 가격

Semicorex 블랙 알루미나 세라믹 진공 척의 응용

1. 반도체 제조 및 태양광 산업

다공성 구조로 인해 Semicorex 블랙 알루미나 세라믹은진공 척다양한 치수의 웨이퍼를 균일하게 고정하고 고정할 수 있어 가공 중 흡착력의 불균등으로 인한 웨이퍼 변형 및 변위를 방지할 수 있습니다. 이는 포토리소그래피, 에칭, 이온 주입과 같은 최첨단 반도체 제조 공정과 태양 전지 생산과 같은 광전지 산업에 채택됩니다.

2. 정밀광학가공산업

Semicorex 블랙 알루미나 세라믹 진공 척은 광학 부품(예: 렌즈, 프리즘, 거울)의 가공 및 조립에 매우 적합합니다. 미광 억제를 위한 뛰어난 광학 특성 덕분에 Semicorex 블랙 알루미나 세라믹 진공 척은 미광이 광학 감지의 정확성에 영향을 미치는 것을 크게 방지할 수 있습니다.

3. 항공우주 및 군사 산업

Semicorex 블랙 알루미나 세라믹 진공 척은 항공우주 및 군사 산업의 정밀 부품 가공 및 조립에 이상적입니다. 블랙 알루미나 세라믹 진공 척의 고유한 특성으로 인해 고강도, 고온 및 높은 부식이 특징인 극한의 작업 환경을 견딜 수 있습니다.