세라믹 정전기 척

세라믹 정전척전극과 웨이퍼 사이에 발생하는 정전기장을 이용하여 웨이퍼를 고정, 고정하는 정밀 부품입니다. 반도체, 평판 디스플레이, 광학 등의 분야에 폭넓게 적용되고 있으며, PVD 소자, 식각기, 이온 주입기 등 첨단 장비의 핵심 부품이다.

이온 주입, CVD 등 고진공 환경에서도 안정적으로 작업할 수 있어 진공 환경에서 웨이퍼를 흡수할 수 없는 기존 진공 척의 한계를 극복하고 이온 주입, 화학 기상 증착(CVD) 등 반도체 제조 공정의 공정 요구 사항을 완벽하게 충족합니다.웨이퍼기존 기계식 척으로 인해 발생할 수 있는 뒤틀림이나 변형진공 척, 웨이퍼가 고정밀 반도체 공정에 적합한 가공 정확도를 유지하도록 보장합니다.

일부 세라믹 정전척에는 가열 기능이 통합되어 있어 역풍 가스 또는 내부 가열 전극을 통해 웨이퍼 온도를 정확하게 제어하고 다양한 공정의 엄격한 온도 요구 사항에 적응하며 처리 안정성을 향상시킬 수 있습니다.

기계식 척과 달리 세라믹 정전척은 기계적으로 움직이는 부품을 줄이고 미립자 오염물질이 웨이퍼 품질에 미치는 영향을 줄이며 웨이퍼 표면의 청결을 효과적으로 보호하고 제품 수율을 향상시킵니다.

세라믹 정전 척은 광범위한 호환성을 제공합니다. 실리콘, 갈륨 비소, 실리콘 카바이드 등 다양한 크기와 재료의 웨이퍼를 수용할 수 있어 다양한 반도체 제조 요구 사항을 충족합니다.

이온 주입, CVD 등 고진공 환경에서도 안정적으로 작업할 수 있어 진공 환경에서 웨이퍼를 흡수할 수 없는 기존 진공 척의 한계를 극복하고 이온 주입, 화학 기상 증착(CVD) 등 반도체 제조 공정의 공정 요구 사항을 완벽하게 충족합니다.