Semicorex는 고품질 CVD SiC 코팅 흑연 팬케이크 서셉터를 제공합니다. 우리는 수년 동안 흑연 재료의 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 CVD SiC 코팅 흑연 팬케이크 서셉터는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
Semicorex CVD SiC(화학적 기상 증착 실리콘 카바이드) 코팅 흑연 팬케이크 서셉터는 앞서 설명한 흑연 팬케이크 서셉터의 고급 버전입니다. 이는 흑연 서셉터 표면에 CVD 공정을 사용하여 적용된 SiC 코팅의 얇은 층을 통합합니다.
CVD SiC 코팅 흑연 팬케이크 서셉터는 웨이퍼 에피택셜, ICP 에칭, RTP 공정 등과 같은 반도체 공정에 널리 사용됩니다.