Semicorex는 고품질 CVD SiC 코팅 흑연 팬케이크 서셉터를 제공합니다. 우리는 수년 동안 흑연 재료의 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 CVD SiC 코팅 흑연 팬케이크 서셉터는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
Semicorex CVD SiC(Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) 코팅 흑연 팬케이크 서셉터는 앞에서 설명한 흑연 팬케이크 서셉터의 고급 버전입니다. 흑연 서셉터 표면에 CVD 공정을 사용하여 적용된 얇은 SiC 코팅층을 통합합니다.
CVD SiC 코팅 흑연 팬케이크 서셉터는 웨이퍼 에피택셜, ICP 에칭, RTP 공정 등과 같은 반도체 공정에 널리 사용됩니다.