웨이퍼 에피택셜 공정용 Semicorex 팬케이크 서셉터는 CVD SiC 코팅된 고순도 흑연 베이스입니다. 당사의 웨이퍼 에피택셜 공정용 팬케이크 서셉터는 가격 경쟁력이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
웨이퍼 에피택시는 반도체 기판에 고품질 결정질 막을 성장시키는 데 사용되는 기술이다. 여기에는 기판을 반응기 챔버 내부에 배치하고 원하는 재료가 층별로 증착되는 제어된 환경에 기판을 노출시키는 작업이 포함됩니다.
웨이퍼 에피택셜 공정용 팬케이크 서셉터는 흑연 서셉터를 원형으로 만든 것으로 화학기상증착(CVD), 물리기상증착(PVD) 등 다양한 반도체 공정에 사용되어 온도 균일성을 높이고 막 성장을 촉진하는 역할을 한다.