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웨이퍼 에피택셜 공정용 팬케이크 서셉터

웨이퍼 에피택셜 공정용 팬케이크 서셉터

웨이퍼 에피택셜 공정용 Semicorex 팬케이크 서셉터는 CVD SiC 코팅된 고순도 흑연 베이스입니다. 웨이퍼 에피택셜 공정을 위한 당사의 팬케이크 서셉터는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

웨이퍼 에피택시는 반도체 기판에 고품질 결정막을 성장시키는 데 사용되는 기술입니다. 반응기 챔버 내부에 기판을 배치하고 원하는 재료가 층별로 증착되는 통제된 환경에 기판을 노출시키는 작업이 포함됩니다.

웨이퍼 에피택셜 공정용 팬케이크 서셉터는 흑연 서셉터를 원형으로 한 형태로 화학기상증착(CVD)이나 물리기상증착(PVD) 등 각종 반도체 공정에서 온도 균일성을 높이고 박막 성장을 촉진하는 데 사용된다.





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