웨이퍼 에피택셜 공정용 Semicorex 팬케이크 서셉터는 CVD SiC 코팅된 고순도 흑연 베이스입니다. 웨이퍼 에피택셜 공정을 위한 당사의 팬케이크 서셉터는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
웨이퍼 에피택시는 반도체 기판에 고품질 결정막을 성장시키는 데 사용되는 기술입니다. 반응기 챔버 내부에 기판을 배치하고 원하는 재료가 층별로 증착되는 통제된 환경에 기판을 노출시키는 작업이 포함됩니다.
웨이퍼 에피택셜 공정용 팬케이크 서셉터는 흑연 서셉터를 원형으로 한 형태로 화학기상증착(CVD)이나 물리기상증착(PVD) 등 각종 반도체 공정에서 온도 균일성을 높이고 박막 성장을 촉진하는 데 사용된다.