CVD SiC 코팅 흑연 샤워 헤드

웨이퍼 상의 재료의 식각 및 화학 기상 증착(CVD)을 위한 플라즈마 장치에서 공정 가스는 CVD SiC 코팅된 흑연 샤워 헤드를 통해 공정 챔버로 공급됩니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex CVD SiC(Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) 코팅 흑연 샤워 헤드는 화학 기상 증착(CVD) 및 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)과 같은 다양한 산업 공정에 사용되는 특수 부품입니다. 이러한 증착 공정 중에 기판 표면에 전구체 가스 또는 반응성 종을 전달하는 데 중요한 역할을 합니다.

CVD SiC 코팅 흑연 샤워 헤드는 고순도 흑연으로 만들어졌으며 CVD 방법에 의해 SiC 박막으로 코팅되었습니다. CVD SiC 코팅 흑연 샤워 헤드는 흑연과 SiC의 유익한 특성을 결합하여 고온 및 화학적 환경에 대한 내성과 함께 정확하고 균일한 가스 분포가 요구되는 다양한 증착 공정에서 필수 구성 요소가 됩니다.

특징:

화학적 내성

열 안정성

부드럽고 균일한 표면

오염 감소