CVD-SiC 샤워헤드

Semicorex CVD-SiC 샤워헤드는 내구성, 우수한 열 관리 및 화학적 분해에 대한 저항성을 제공하므로 반도체 산업의 까다로운 CVD 공정에 적합한 선택입니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

CVD 샤워헤드와 관련하여 CVD-SiC 샤워헤드는 일반적으로 CVD 공정 중에 기판 표면 위에 전구체 가스를 균일하게 분배하도록 설계됩니다. 샤워헤드는 일반적으로 기판 위에 위치하며 전구체 가스는 표면의 작은 구멍이나 노즐을 통해 흐릅니다.

샤워헤드에 사용되는 CVD-SiC 소재는 몇 가지 장점을 제공합니다. 높은 열 전도성은 CVD 공정 중에 발생하는 열을 분산시켜 기판 전체에 균일한 온도 분포를 보장합니다. 또한 SiC의 화학적 안정성 덕분에 CVD 공정에서 일반적으로 발생하는 부식성 가스와 가혹한 환경을 견딜 수 있습니다.

CVD-SiC 샤워헤드의 디자인은 특정 CVD 시스템 및 프로세스 요구 사항에 따라 달라질 수 있습니다. 그러나 일반적으로 정밀하게 드릴링된 구멍이나 슬롯이 배열된 플레이트 또는 디스크 모양의 구성 요소로 구성됩니다. 구멍 패턴과 기하학적 구조는 기판 표면 전체에 걸쳐 균일한 가스 분포와 유속을 보장하도록 세심하게 설계되었습니다.