정전척

고순도 알루미나 세라믹을 활용한 Semicorex 정전 척은 정밀도, 안정성 및 청결을 우선시하는 환경에서 최고의 성능을 제공합니다. 산화알루미늄(Al2O3)으로도 알려져 있는 알루미나는 탁월한 전기 절연성, 높은 열 전도성 및 뛰어난 기계적 강도로 유명한 세라믹 소재입니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 공정의 까다로운 조건을 견딜 수 있도록 설계된 정전 척을 구성하는 데 이상적인 재료입니다. 알루미나 세라믹 ESC는 웨이퍼 취급 및 처리 중 고온, 부식성 환경, 기계적 응력을 견디도록 설계되어 반도체 장치의 수율과 품질을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다.

정전 척의 기본 원리는 웨이퍼를 제자리에 단단히 고정하는 데 사용되는 정전기력입니다. 이 힘은 세라믹 재료 내에 내장된 전극에 전압을 가함으로써 생성됩니다. 정전기장과 웨이퍼 표면에 유도된 전하 사이의 상호 작용은 웨이퍼를 척 표면에 고정시키는 강력한 조임력을 생성합니다. 알루미나 세라믹 ESC의 설계는 이러한 클램핑력이 웨이퍼 전체에 고르게 분산되도록 보장하여 처리 중 미끄러짐이나 손상 위험을 최소화합니다.

정전 척 구성에 알루미나 세라믹을 사용하는 주요 장점 중 하나는 탁월한 전기 절연 특성입니다. 알루미나의 높은 유전 강도는 전기적 파손의 위험 없이 고전압을 적용할 수 있게 하며, 이는 정전기장의 무결성을 유지하는 데 중요합니다. 이는 웨이퍼가 반응성이 높은 환경에 노출되고 클램핑력의 변화로 인해 웨이퍼에 결함이나 손상이 발생할 수 있는 플라즈마 에칭 또는 화학 기상 증착과 같은 공정에서 특히 중요합니다.

알루미나 세라믹은 전기적 특성 외에도 우수한 열 전도성을 나타내어 반도체 공정 중에 발생하는 열을 관리하는 데 필수적입니다. 열을 효율적으로 발산하는 정전기 척의 기능은 웨이퍼 전체에서 안정적인 온도를 유지하는 데 도움이 되며 뒤틀림이나 다른 형태의 열 응력으로 이어질 수 있는 열 구배를 줄여줍니다. 이러한 열 안정성은 약간의 온도 편차도 결과에 영향을 미칠 수 있는 포토리소그래피와 같은 공정의 정밀도와 반복성을 보장하는 데 중요합니다.