GaN-on-SiC 기판

박막 증착 단계 또는 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 GaN-on-SiC 기판 웨이퍼 캐리어는 고온과 혹독한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 고순도 SiC 코팅 GaN-on-SiC 기판 서셉터를 공급하여 우수한 내열성을 제공하고 일관된 에피층 두께와 저항성을 위한 균일한 열 균일성과 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 정밀한 SiC 크리스탈 코팅은 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공하며, 깨끗한 웨이퍼는 전체 영역의 여러 지점에서 서셉터와 접촉하므로 취급에 매우 중요합니다.

Semicorex에서는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 두고 있습니다. 우리의 GaN-on-SiC 기판 서셉터는 가격 우위를 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장으로 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

GaN-on-SiC 기판 서셉터의 매개변수

GaN-on-SiC 기판 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.