Semicorex는 중국의 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 실리콘 카바이드 레이어 및 에피택시 반도체와 같은 반도체 산업에 중점을 둡니다. 우리의 SiC Epi-Wafer Susceptor는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
Semicorex는 웨이퍼를 지지하는 데 사용되는 MOCVD로 코팅된 SiC Epi-Wafer Susceptor를 공급합니다. 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 구조는 우수한 내열성, 일관된 에피층 두께 및 저항을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 미세한 SiC 결정 코팅은 깨끗한 웨이퍼가 전체 영역의 많은 지점에서 서셉터와 접촉하기 때문에 취급에 중요한 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공합니다.
당사의 SiC Epi-Wafer Susceptor는 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 균일한 열 프로필을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩에서 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
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SiC Epi-Wafer Susceptor의 매개변수
CVD-SIC 코팅의 주요 사양 |
||
SiC-CVD 속성 |
||
결정 구조 |
FCC β 단계 |
|
밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
입자 크기 |
μm |
2~10 |
화학적 순도 |
% |
99.99995 |
열용량 |
J·kg-1·K-1 |
640 |
승화 온도 |
℃ |
2700 |
쇠약한 힘 |
MPa(RT 4점) |
415 |
영률 |
GPA (4pt 굽힘, 1300â) |
430 |
열팽창(C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
열 전도성 |
(W/mK) |
300 |
SiC Epi-Wafer Susceptor의 특징
고순도 SiC 코팅 흑연
우수한 내열성 및 열 균일성
매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈
화학 세정에 대한 높은 내구성
균열 및 박리가 발생하지 않도록 재료가 설계되었습니다.