SiC 에피웨이퍼 수용체

Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 탄화규소층, 에피택시 반도체 등 반도체 산업에 주력하고 있습니다. 당사의 SiC 에피웨이퍼 서셉터는 좋은 가격 이점을 갖고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

세미코렉스는 웨이퍼를 지지하는 데 사용되는 MOCVD 코팅된 SiC Epi-Wafer Susceptor를 공급합니다. 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 흑연 구조는 뛰어난 내열성을 제공하고, 균일한 에피층 두께와 저항성을 위한 균일한 열 균일성과 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 정밀한 SiC 크리스탈 코팅은 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공하며, 깨끗한 웨이퍼는 전체 영역의 여러 지점에서 서셉터와 접촉하므로 취급에 매우 중요합니다.
당사의 SiC 에피웨이퍼 서셉터는 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로파일의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩의 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
SiC 에피웨이퍼 서셉터에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하세요.

SiC 에피웨이퍼 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300