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실리콘 카바이드 에피택시 서셉터
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실리콘 카바이드 에피택시 서셉터

Semicorex는 중국의 Silicon Carbide Epitaxy Susceptor의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 실리콘 카바이드 레이어 및 에피택시 반도체와 같은 반도체 산업에 중점을 둡니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex는 흑연, 세라믹 및 실리콘 카바이드 에피택시 서셉터와 같은 기타 재료의 표면에 CVD 방법으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하여 탄소와 실리콘을 포함하는 특수 가스가 고온에서 반응하여 고순도 SiC 분자를 얻습니다. SIC 보호 층을 형성하는 코팅된 물자의 표면. 형성된 SIC는 흑연 기반에 단단히 결합되어 흑연 기반에 특수한 특성을 부여하여 흑연 표면을 조밀하고 기공이 없으며 고온 저항성, 내 부식성 및 내 산화성을 만듭니다.
당사의 실리콘 카바이드 에피택시 서셉터는 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 균일한 열 프로필을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩에서 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
실리콘 카바이드 에피택시 서셉터에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.


실리콘 카바이드 에피택시 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


실리콘 카바이드 에피택시 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.
- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.
- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




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