ICP 에칭 캐리어 플레이트

Semicorex의 ICP 에칭 캐리어 플레이트는 까다로운 웨이퍼 핸들링 및 박막 증착 공정을 위한 완벽한 솔루션입니다. 당사 제품은 우수한 내열성 및 내부식성, 균일한 열 균일성 및 층류 가스 흐름 패턴을 제공합니다. 깨끗하고 매끄러운 표면을 갖춘 당사의 캐리어는 깨끗한 웨이퍼를 핸들링하는 데 적합합니다.

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제품 설명

Semicorex의 ICP Etching Carrier Plate는 웨이퍼 핸들링 및 박막 증착 공정에 탁월한 내구성과 수명을 제공합니다. 당사 제품은 우수한 내열성 및 내식성, 균일한 열 균일성, 층류 가스 흐름 패턴을 자랑합니다. 깨끗하고 매끄러운 표면을 갖춘 당사의 캐리어는 깨끗한 웨이퍼를 최적으로 처리할 수 있도록 보장합니다. 고온, 화학적 세척 및 높은 열 균일성을 철회합니다.
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ICP 에칭 캐리어 플레이트의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300