유도 결합 플라즈마(ICP)

Semicorex의 ICP(유도 결합 플라즈마)용 탄화규소 코팅 서셉터는 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 최대 1600°C의 안정적인 고온 내산화성을 갖춘 당사의 캐리어는 균일한 열 프로파일, 층류 가스 흐름 패턴을 보장하고 오염 또는 불순물 확산을 방지합니다.

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제품 설명

고온, 혹독한 화학적 환경을 처리할 수 있는 웨이퍼 캐리어가 필요하십니까? Semicorex의 ICP(유도 결합 플라즈마)용 실리콘 카바이드 코팅 서셉터를 만나보세요. 당사의 캐리어는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성 및 내구성 있는 내화학성을 제공하는 미세한 SiC 크리스탈 코팅을 특징으로 합니다.
유도 결합 플라즈마(ICP)용 SiC 서셉터에 대해 자세히 알아보려면 지금 당사에 문의하세요.

유도 결합 플라즈마(ICP)용 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300