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유도 결합 플라즈마(ICP)
Semicorex의 ICP(Inductively-Coupled Plasma)용 실리콘 카바이드 코팅 서셉터는 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 최대 1600°C의 안정적인 고온 내산화성을 갖춘 당사 캐리어는 균일한 열 프로필, 층류 가스 흐름 패턴을 보장하고 오염 또는 불순물 확산을 방지합니다.
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제품 설명
고온의 가혹한 화학 환경을 처리할 수 있는 웨이퍼 캐리어가 필요하십니까? Semicorex의 유도 결합 플라즈마(ICP)용 실리콘 카바이드 코팅 서셉터 외에 다른 제품은 없습니다. 당사의 캐리어는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성 및 내구성 있는 내화학성을 제공하는 미세 SiC 크리스탈 코팅이 특징입니다.
유도 결합 플라즈마(ICP)용 SiC 서셉터에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.
유도 결합 플라즈마(ICP)에 대한 서셉터의 매개변수
|
CVD-SIC 코팅의 주요 사양 |
||
|
SiC-CVD 속성 |
||
|
결정 구조 |
FCC β 단계 |
|
|
밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
|
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
|
입자 크기 |
μm |
2~10 |
|
화학적 순도 |
% |
99.99995 |
|
열용량 |
J·kg-1·K-1 |
640 |
|
승화 온도 |
℃ |
2700 |
|
쇠약한 힘 |
MPa(RT 4점) |
415 |
|
영률 |
GPA (4pt 굽힘, 1300â) |
430 |
|
열팽창(C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
열 전도성 |
(W/mK) |
300 |
유도 결합 플라즈마(ICP)용 실리콘 카바이드 코팅 서셉터의 특징
- 박리를 피하고 모든 표면에 코팅을 하십시오.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착에 의해 만들어집니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.
- 최고의 층류 가스 흐름 패턴 달성
- 열 프로파일의 균일성 보장
- 오염이나 불순물 확산 방지
핫 태그: 유도 결합 플라즈마(ICP), 중국, 제조업체, 공급업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성
제품 태그
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