반도체 산업의 선도적인 업스트림 흑연 재료 제조업체인 Semicorex는 재료의 가용성, 유용성 및 내구성을 우선시하여 해당 분야의 우수성에 대한 표준을 설정합니다.
CVD SiC 코팅 서셉터는 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착) 공정에서 특수 웨이퍼 홀더 역할을 하며 반도체 제조에서 중요한 역할을 합니다. 이러한 구성 요소는 고온 및 부식성 환경과 같은 극한 조건에서 에피택시 동안 웨이퍼의 구조적 무결성을 유지하는 데 필수적입니다. **
탄화규소(SiC)는 실리콘과 탄소원자의 공유결합으로 형성된 화합물로 내마모성, 내열충격성, 내식성, 높은 열전도율이 우수한 것으로 알려져 있습니다.
고강도, 경도, 내마모성, 내식성 및 고온 안정성으로 유명한 탄화규소(SiC) 세라믹은 출시 이후 수많은 산업 분야에서 엄청난 잠재력과 가치를 입증해 왔습니다.
탄화규소(SiC)는 중요한 고급 세라믹 소재로서 내열성, 내식성, 내마모성, 고온 기계적 강도, 내산화성 등 우수한 특성을 가지고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체, 원자력 에너지, 국방 및 우주 기술과 같은 첨단 기술 분야의 응용 분야에 매우 유망합니다.
SiC 세라믹은 합성 온도가 매우 높고 치밀한 소결이 어렵기 때문에 개발이 제한되었습니다. 소결 공정은 SiC 세라믹에 매우 중요합니다.