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회사 뉴스

고순도 CVD 두꺼운 SiC: 재료 성장을 위한 공정 통찰력

일반적으로 1mm를 초과하는 두꺼운 고순도 탄화규소(SiC) 층은 반도체 제조 및 항공우주 기술을 포함한 다양한 고부가가치 응용 분야에서 중요한 구성 요소입니다. 이 기사에서는 이러한 층을 생산하기 위한 화학 기상 증착(CVD) 공정을 자세히 살펴보고 주요 공정 매개변수, 재료 특성 및 새로운 응용 분야를 강조합니다.

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화학 기상 증착(CVD) 이해: 종합 개요

화학 기상 증착(CVD)은 다양한 기판에 고품질의 등각 박막을 제조하기 위해 반도체 산업에서 널리 사용되는 다목적 박막 증착 기술입니다. 이 공정에는 가열된 기판 표면에 대한 기체 전구체의 화학 반응이 포함되어 고체 박막이 형성됩니다. 이 기사에서는 CVD의 복잡성을 자세히 살펴보고 CVD의 메커니즘, 장점, 한계 및 반도체 제조의 주요 응용 분야를 탐구합니다.

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SiC 보트 vs. 석영 보트: 반도체 제조의 현재 사용 및 미래 동향

이 기사에서는 반도체 산업 내 석영 보트와 관련하여 실리콘 카바이드(SiC) 보트의 용도와 미래 궤적을 조사하고, 특히 태양 전지 제조에서의 응용 분야에 초점을 맞췄습니다.

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질화갈륨 에피택셜 웨이퍼: 제조 공정 소개

질화갈륨(GaN) 에피택셜 웨이퍼 성장은 종종 2단계 방법을 활용하는 복잡한 프로세스입니다. 이 방법에는 고온 베이킹, 버퍼층 성장, 재결정화 및 어닐링을 비롯한 여러 중요한 단계가 포함됩니다. 2단계 성장 방법은 이러한 단계 전체에서 온도를 세심하게 제어함으로써 격자 불일치 또는 응력으로 인한 웨이퍼 뒤틀림을 효과적으로 방지하여 전 세계적으로 GaN 에피택셜 웨이퍼의 주요 제조 방법이 되었습니다.

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에피택셜 웨이퍼와 확산 웨이퍼의 차이점은 무엇입니까

에피택셜 웨이퍼와 확산 웨이퍼는 모두 반도체 제조에 필수적인 재료이지만 제조 공정과 대상 응용 분야에서 크게 다릅니다. 이 기사에서는 이러한 웨이퍼 유형 간의 주요 차이점을 자세히 살펴봅니다.

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건식 에칭과 습식 에칭의 장단점은 무엇입니까?

에칭은 반도체 제조에 있어 필수적인 공정이다. 이 공정은 건식 에칭과 습식 에칭의 두 가지 유형으로 분류할 수 있습니다. 각 기술에는 고유한 장점과 한계가 있으므로 이들 간의 차이점을 이해하는 것이 중요합니다. 그렇다면 최상의 에칭 방법을 어떻게 선택합니까? 건식 에칭과 습식 에칭의 장단점은 무엇입니까?

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