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구조가 다른 SiC 결정의 차이점

탄화규소(SiC)는 탁월한 열적, 물리적, 화학적 안정성을 보유하고 기존 소재보다 뛰어난 특성을 나타내는 소재입니다. 열전도율은 84W/(m·K)로 구리보다 높을 뿐만 아니라 실리콘보다 3배나 높다. 이는 열 관리 애플리케이션에 사용할 수 있는 엄청난 잠재력을 보여줍니다.

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흑연에 TaC 코팅이란 무엇입니까?

빠르게 발전하는 반도체 제조 분야에서는 최적의 성능, 내구성 및 효율성을 달성하는 데 있어 아주 작은 개선이라도 큰 차이를 만들 수 있습니다. 업계에서 많은 화제를 불러일으키는 발전 중 하나는 흑연 표면에 TaC(탄탈륨 카바이드) 코팅을 사용하는 것입니다. 그런데 TaC 코팅이란 정확히 무엇이며, 반도체 제조사들이 이에 주목하는 이유는 무엇일까?

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실리콘 카바이드 산업

탄화규소 산업에는 기판 생성, 에피택셜 성장, 장치 설계, 장치 제조, 패키징 및 테스트를 포함하는 일련의 프로세스가 포함됩니다. 일반적으로 탄화규소는 잉곳으로 생성되며, 이를 절단, 분쇄 및 연마하여 탄화규소 기판을 생성합니다.

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탄화규소(SiC)는 우수한 물리화학적 특성으로 인해 전력 전자, 고주파 RF 장치 및 고온 내성 환경용 센서와 같은 분야에서 중요한 응용 분야를 가지고 있습니다. 그러나 SiC 웨이퍼 가공 중 슬라이싱 작업은 표면에 손상을 초래하며, 이를 처리하지 않고 방치할 경우 후속 에피택셜 성장 공정에서 확장되어 에피택셜 결함을 형성하여 장치 수율에 영향을 미칠 수 있습니다.

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GaN 대 SiC

현재 조사 중인 여러 가지 재료가 있으며, 그 중 탄화규소가 가장 유망한 재료 중 하나입니다. GaN과 유사하게 실리콘에 비해 더 높은 작동 전압, 더 높은 항복 전압 및 우수한 전도성을 자랑합니다. 또한 높은 열전도율 덕분에 탄화규소는 극한의 온도 환경에서도 활용될 수 있습니다. 마지막으로 크기는 훨씬 작지만 더 큰 전력을 처리할 수 있습니다.

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반도체 실리콘 단결정의 열장 코팅

반도체 실리콘 단결정 핫 필드의 코팅 부품은 일반적으로 열분해 탄소 코팅, 실리콘 카바이드 코팅 및 탄탈륨 카바이드 코팅을 포함하여 각각 다른 특성을 갖는 CVD 방법으로 코팅됩니다.

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구조가 다른 SiC 결정의 차이점

흑연에 TaC 코팅이란 무엇입니까?

실리콘 카바이드 산업

탄화규소를 분쇄할 수 있나요?

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