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LPE 장비

반도체 소자 제조 영역에서 결정 성장의 정밀한 제어는 고품질의 신뢰성 있는 소자를 달성하는 데 매우 중요합니다. 이 영역에서 중추적인 역할을 한 기술 중 하나는 액상 에피택시(LPE)입니다.

반도체 산업의 탄탈륨 카바이드 코팅

고출력 청색 및 UV LED의 개발로 풀컬러 LED TV 디스플레이는 물론 백색 LED 자동차 및 가정용 조명 제작이 가능해졌습니다. 이 LED는 MOCVD 공정을 사용하여 CVD SiC 코팅 흑연 서셉터로 지지되는 기판 웨이퍼에 증착되는 질화 갈륨을 기반으로 합니다.

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다공성 흑연이란 무엇입니까?

다공성 탄소 또는 다공성 흑연 재료로도 알려진 다공성 흑연은 구조 내에 기공 또는 공극의 상호 연결된 네트워크를 갖도록 특별히 가공된 흑연 형태입니다.

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흑연 막대를 제조하는 방법?

압축 성형, 등압 성형 및 막대 압출은 흑연 튜브를 만드는 데 사용되는 것과 유사한 흑연 막대를 생산하는 가장 일반적인 세 가지 방법입니다.

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SiC 코팅 흑연 서셉터란 무엇입니까?

SiC 웨이퍼를 지지하는 트레이(베이스), 일명 '서셉터'는 반도체 제조 장비의 핵심 부품이다. 웨이퍼를 운반하는 이 서셉터는 정확히 무엇입니까?

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확산로는 무엇입니까?

확산로는 제어된 방식으로 반도체 웨이퍼에 불순물을 도입하는 데 사용되는 특수 장비입니다. 도펀트라고 불리는 이러한 불순물은 반도체의 전기적 특성을 변화시켜 다양한 유형의 전자 부품을 만들 수 있게 해줍니다. 이러한 제어된 확산 공정은 트랜지스터, 다이오드 및 집적 회로 생산에 중요합니다.

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