확산로는 제어된 방식으로 반도체 웨이퍼에 불순물을 도입하는 데 사용되는 특수 장비입니다. 도펀트라고 불리는 이러한 불순물은 반도체의 전기적 특성을 변화시켜 다양한 유형의 전자 부품을 만들 수 있게 해줍니다. 이러한 제어된 확산 공정은 트랜지스터, 다이오드 및 집적 회로 생산에 중요합니다.
처리할 웨이퍼 묶음이 적재된 웨이퍼 보트는 긴 캔틸레버식 패들 위에 위치합니다.
등방성 흑연 제조 공정은 원료 선정, 혼합, 성형, 등방성 프레싱, 탄화, 흑연화의 순으로 진행됩니다.
등방성 흑연은 초미세 입자를 가진 흑연의 일종입니다. 다른 세립 흑연의 기계적 성질이 부적합한 용도에 사용됩니다.
에피택시에는 동종과 이종의 두 가지 유형이 있습니다. 다양한 애플리케이션을 위한 특정 저항 및 기타 매개변수를 갖춘 SiC 장치를 생산하려면 생산을 시작하기 전에 기판이 에피택시 조건을 충족해야 합니다. 에피택시의 품질은 장치 성능에 영향을 미칩니다.
반도체 제조에서 에칭은 포토리소그래피, 박막 증착과 함께 주요 단계 중 하나입니다. 여기에는 화학적 또는 물리적 방법을 사용하여 웨이퍼 표면에서 원하지 않는 물질을 제거하는 작업이 포함됩니다. 이 단계는 코팅, 포토리소그래피, 현상 후에 수행됩니다. 노출된 박막 물질을 제거하고, 웨이퍼의 원하는 부분만 남겨둔 후, 남은 포토레지스트를 제거하는 데 사용됩니다. 이러한 단계는 복잡한 집적 회로를 만들기 위해 여러 번 반복됩니다.