> 제품 > 세라믹 > 알루미나(Al2O3) > 다공성 세라믹 척
다공성 세라믹 척
  • 다공성 세라믹 척다공성 세라믹 척

다공성 세라믹 척

Semicorex Porous Ceramic Chuck(Vacuum Chuck)은 반도체 제조 공정 중 웨이퍼를 안전하게 고정하도록 설계된 고정밀 도구입니다. Semicorex를 선택하시면 뛰어난 성능, 내구성 및 맞춤화 옵션을 제공하는 솔루션의 혜택을 누리실 수 있으며 향상된 생산 효율성과 일관된 품질 표준을 보장하실 수 있습니다.*

문의 보내기

제품 설명

세미코어렉스 다공성 세라믹 척(Semicorex Porous Ceramic Chuck)이라고도 알려져 있습니다.진공 척는 반도체 및 마이크로 전자공학 공정에서 정밀한 웨이퍼 핸들링을 위해 설계된 고도로 전문화된 도구입니다. 이 척은 고유한 다공성 세라믹 구조를 갖추고 있어 전체 표면적에 걸쳐 균일한 진공 압력을 유지할 수 있어 에칭, 증착, 리소그래피와 같은 중요한 처리 단계에서 섬세한 웨이퍼의 안전하고 안정적인 위치 지정을 보장합니다. Semicorex의 다공성 세라믹 척을 선택하면 반도체 제조의 정밀도와 효율성을 향상시키는 안정적이고 내구성이 뛰어난 고성능 구성 요소를 선택하는 것입니다.


다공성 세라믹 척은 진공 흡입을 사용해 반도체 웨이퍼를 제자리에 단단히 고정하는 데 사용되는 고급 부품으로, 다양한 제조 공정에서 안정적인 표면을 제공합니다. 고순도 다공성 세라믹 소재로 제작된 척은 기계적 강도와 뛰어난 내열성을 모두 제공합니다. 진공 압력을 고르게 분배하고 섬세한 웨이퍼를 지지하는 능력은 반도체 산업, 특히 극도의 정밀도와 반복성이 요구되는 응용 분야에서 필수적인 장비입니다.


특징 및 장점

Semicorex Porous Ceramic Chuck은 혁신적인 다공성 디자인과 균일한 진공 분포를 보장하는 고급 세라믹 소재를 갖추고 있습니다. 이는 웨이퍼 뒤틀림과 왜곡을 제거하여 우수한 공정 수율과 웨이퍼 품질을 제공합니다.


잘 보정된 구멍 구조로 탁월한 진공 흡입이 제공되어 적은 압력으로도 웨이퍼 접착력이 향상되고 처리 중 오염이나 움직임의 가능성을 크게 낮출 수 있습니다. 척의 뛰어난 열 안정성 설계로 극도로 높은 온도를 견딜 수 있어 에칭 및 CVD(화학 기상 증착)와 같은 반도체 공정에 적합합니다.


내구성이 뛰어나고 내마모성이 뛰어난 세라믹으로 제작되어 열악한 생산 환경에서도 최소한의 유지 관리만으로 긴 서비스 수명을 제공합니다. Semicorex는 또한 다양한 크기, 모양 및 진공 사양을 포함한 광범위한 사용자 정의 옵션을 제공하여 제조 장비에 원활한 통합을 보장합니다. 우리의 제품은 고품질이며 잘 만들어졌습니다.


또한 화학적 불활성으로 인해 클린룸 조건과의 호환성이 보장되어 오염을 방지하고 제품 무결성을 보존합니다. 탁월한 성능, 내구성 및 낮은 유지 관리 요구 사항을 갖춘 Porous Ceramic Chuck은 반도체 제조업체의 투자 수익을 극대화하는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.



반도체 제조 분야의 응용


Porous Ceramic Chuck은 안전한 웨이퍼 핸들링이 필요한 반도체 제조 공정에 널리 사용됩니다. 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.



  • 에칭:척은 플라즈마 에칭 중에 안정적인 웨이퍼 위치를 보장하여 진공 조건에서 웨이퍼 이동이나 왜곡을 방지합니다.
  • CVD:화학 기상 증착 공정에서 척은 박막 증착 중에 웨이퍼를 안전하게 고정하여 균일한 코팅을 위해 정확한 위치를 유지합니다.
  • 리소그래피:척은 웨이퍼 정렬과 안정성이 고해상도 패턴을 달성하는 데 중요한 포토리소그래피 단계에 사용됩니다.
  • 웨이퍼 본딩:척은 웨이퍼 본딩 프로세스를 위한 안전한 플랫폼을 제공하여 웨이퍼 이동 위험 없이 정확한 정렬과 접착을 보장합니다.
  • 웨이퍼 테스트 및 검사:진공 척은 테스트 및 검사 중에 웨이퍼를 제자리에 단단히 고정하여 고정밀 측정 및 결함 검출을 용이하게 합니다.



Semicorex에서는 품질, 신뢰성 및 정밀도를 최우선으로 생각합니다. 당사의 다공성 세라믹 척은 최첨단 기술과 우수한 재료로 설계되어 반도체 공정에서 최적의 성능을 제공합니다. 고정밀 에칭, 증착 또는 본딩 작업을 수행하는 경우 당사의 진공 척은 안정적이고 안전한 웨이퍼 고정을 보장하여 오염 위험을 줄이고 공정 수율을 향상시킵니다. 특정 생산 요구 사항을 충족하는 맞춤형 솔루션을 제공하는 반도체 제조 분야의 신뢰할 수 있는 파트너로 Semicorex를 선택하십시오.


Semicorex의 Semicorex 다공성 세라믹 척은 반도체 제조 시 웨이퍼 핸들링을 위한 고성능, 내구성 솔루션입니다. 고급 다공성 구조, 탁월한 진공 유지 및 열 안정성을 통해 정확한 웨이퍼 위치 지정을 보장하고 공정 변동성을 줄입니다. 장기적인 신뢰성과 맞춤화 옵션을 제공하는 Semicorex의 Porous Ceramic Chuck은 향상된 생산성과 일관된 결과를 원하는 제조업체에게 없어서는 안 될 도구입니다.


핫 태그: 다공성 세라믹 척, 중국, 제조업체, 공급 업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성
관련 카테고리
문의 보내기
문의사항은 아래 양식으로 부담없이 보내주세요. 24시간 이내에 회신해 드리겠습니다.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept