제품

Semicorex 탄화 규소 SiC 진공 척은 고정밀 반도체 처리용으로 설계된 정밀 세라믹 웨이퍼 고정 부품으로, 탁월한 열 안정성, 탁월한 평탄도 및 매우 깨끗한 진공 흡착 성능을 제공합니다. Semicorex는 고급 SiC 소재 기술, 정밀 가공 기능 및 엄격한 반도체 등급 품질 관리를 결합하여 전 세계 고객에게 매우 안정적인 진공 척 솔루션을 제공합니다.*

고품질 다공성 탄화규소 세라믹으로 제조된 Semicorex 다공성 SiC 진공 척은 얇고 깨지기 쉬운 웨이퍼를 깨끗하고 손상 없이 처리하기 위해 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 클램핑 도구입니다. Semicorex를 선택하시면 최첨단 반도체 제조 공정을 위한 최적의 웨이퍼 클램핑 및 포지셔닝 솔루션을 즐기실 수 있습니다.

반도체 등급의 고순도 석영 재료로 만들어진 Semicorex 고순도 용융 석영 도가니는 최첨단 반도체 제조에서 중요한 용기입니다. Semicorex 고순도 용융 석영 도가니는 고온 단결정 용해로의 단결정 실리콘 성장 공정을 위해 특별히 설계된 이상적인 석영 솔루션입니다.

Semicorex 다공성 탄탈륨 카바이드 세라믹은 물리적 증기 수송(PVT) 공정에서 특별히 설계된 고성능 다공성 세라믹입니다. 특별한 다공성 구조와 우수한 특성은 고품질 탄화규소 결정 성장을 촉진하는 데 중요한 역할을 합니다. Semicorex를 선택하면 고급 반도체 제조를 위한 일관된 품질과 안정적인 성능을 갖춘 이상적인 다공성 세라믹 솔루션을 얻을 수 있습니다.

반도체용 Semicorex 세라믹 포커스 링은 고강도 플라즈마 에칭 환경을 위해 특별히 설계된 CVD SiC 재료로 만든 고성능 링 부품입니다. Semicorex는 업계 최고의 반도체용 CVD SiC 세라믹 포커스 링 제조업체입니다. 귀하의 문의를 기다리겠습니다.

에칭용 Semicorex Poly-Si 외륜은 폴리실리콘 소재로 정밀 가공된 링 부품입니다. 고급 에칭 장비의 전극 시스템용으로 특별히 설계된 에칭용 Semicorex 폴리-Si 외부 링은 에칭 공정의 안정성을 효과적으로 보장할 수 있습니다. Semicorex를 선택하면 웨이퍼 수율과 운영 효율성을 향상시킬 수 있는 에칭용 고품질 폴리실리콘 외부 링을 얻을 수 있습니다.