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SiC 세라믹 진공 척

Semicorex SiC 세라믹 진공척은 탄화규소 세라믹으로 제조된 정밀 진공 흡착 장치로, 가공 및 검사 과정에서 반도체 웨이퍼를 특정 위치에 정밀하고 안정적으로 배치할 수 있습니다. Semicorex SiC 세라믹 진공 척을 사용하면 반도체 제조 수율을 향상시키고, 반도체 장치 성능을 향상시키며, 전체 제조 비용을 절감하는 데 도움이 될 수 있습니다.

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Semicorex 흑연 히터는 반도체 용광로의 초고순도 및 고온 요구 사항을 위해 설계되었으며 특히 MOCVD, CVD 및 SiC 결정 성장 공정에 최적화된 정밀 엔지니어링 저항 가열 요소입니다. Semicorex와의 파트너십을 통해 우수한 등방성 흑연과 고급 코팅 기술을 결합한 맞춤형 가열 솔루션을 제공하여 업계 최고의 열 균일성, 오염 없는 성능 및 상당히 낮은 총 소유 비용(TCO)을 보장합니다.*

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다공성 탄탈륨 카바이드 링

Semicorex 다공성 탄탈륨 카바이드 링은 실리콘 카바이드(SiC) 결정 성장의 PVT(물리적 증기 수송) 공정을 위해 특별히 설계된 고성능 내화 부품으로, 탁월한 열 안정성과 제어된 가스 투과성을 제공하는 모놀리식 소결 구조가 특징입니다.*

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RTA SiC 웨이퍼 캐리어

Semicorex RTA SiC 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조의 급속 열 어닐링 공정을 위해 특별히 설계된 필수 웨이퍼 운반 도구입니다. Semicorex RTA SiC 웨이퍼 캐리어는 신속한 열 어닐링 공정을 위한 최적의 솔루션으로, 반도체 제조 수율을 개선하고 반도체 장치 성능을 향상시키는 데 도움이 될 수 있습니다.

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TaC 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터

Semicorex TaC 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터는 고급 반도체 에피택시 공정 중에 반도체 웨이퍼를 안정적으로 지지하고 배치하기 위해 일반적으로 적용되는 최첨단 구성 요소입니다. 최첨단 생산 기술과 성숙한 제조 경험을 활용하여 Semicorex는 소중한 고객에게 시장 최고의 품질을 갖춘 맞춤형 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 서셉터를 공급하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

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CVD TaC 코팅 서셉터

Semicorex CVD TaC 코팅 서셉터는 고밀도 TaC 코팅이 적용된 고성능 흑연 서셉터로, 까다로운 SiC 에피택시 성장 공정에 탁월한 열 균일성과 내식성을 제공하도록 설계되었습니다. Semicorex는 고급 CVD 코팅 기술과 엄격한 품질 관리를 결합하여 글로벌 SiC 에피 제조업체가 신뢰하는 오래 지속되고 오염이 적은 서셉터를 제공합니다.*

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