다공성 탄탈륨 카바이드 세라믹

세미코렉스 다공성 탄탈륨 카바이드 세라믹은 융점이 약 3880℃인 초고온 세라믹 소재로, 다음과 같은 우수한 성능 특성으로 인해 까다로운 고온, 고부식 작동 환경에서도 안정적인 성능을 유지할 수 있습니다.

1. 우수한 열적 특성

Semicorex porous의 최대 작동 온도탄탈륨 카바이드 세라믹3200℃까지 가능하며 고온의 탄화규소 결정 성장 조건에서 변형이나 연화 없이 장기간 안정적으로 작동할 수 있습니다.

2. 탁월한 화학적 안정성

Semicorex 다공성 탄탈륨 카바이드 세라믹은 기존 세라믹보다 내식성과 내산화성이 우수합니다. 결정 성장 과정에서 고온 산소 및 Si 증기의 부식을 효과적으로 견딜 수 있습니다.

3. 특수 다공성 구조

Semicorex 다공성 탄탈륨 카바이드 세라믹은 내부 기공이 균일하게 분포되어 있으며 기공률은 10-60%(맞춤형)이고 기공 통과율은 98% 이상입니다. 이러한 특수한 구조는 Si, C 등의 기상원소가 결정성장로 내부에서 원활하게 흐르고 확산될 수 있도록 하여 고품질의 결정성장을 크게 촉진시킵니다.

탄화규소 결정 성장에 적용

PVT 공정을 통한 탄화규소 결정 성장 중에 Semicorex 다공성 탄탈륨 탄화물 세라믹은 주로 증기상 요소 여과, 노 온도 구배 조절 및 가스 물질 흐름 안내에서 기능합니다. 기존의 다공성 TaC 코팅 흑연 소재와 달리 Semicorex 다공성 탄탈륨 카바이드 세라믹은 뚜렷한 장점을 보여줍니다.TaC 코팅 흑연코팅 처리로 인한 낮은 기공 통과율이라는 재료의 단점을 해결하는 동시에 다공성 TaC 코팅 흑연 재료의 사용 중 발생하는 코팅 벗겨짐의 문제점을 방지합니다. Semicorex 다공성 탄탈륨 카바이드 세라믹을 사용하면 탄화규소 결정 성장에서 탄소 함유 결함을 효과적으로 억제하여 결정 성장 품질과 제품 수율을 크게 향상시킬 수 있습니다.