Semicorex의 ICP 플라즈마 에칭 트레이는 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 최대 1600°C의 안정적인 고온 내산화성을 갖춘 당사의 캐리어는 균일한 열 프로필, 층류 가스 흐름 패턴을 제공하고 오염 또는 불순물 확산을 방지합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex의 ICP 에칭 캐리어 플레이트는 까다로운 웨이퍼 핸들링 및 박막 증착 공정을 위한 완벽한 솔루션입니다. 당사 제품은 우수한 내열성 및 내부식성, 균일한 열 균일성 및 층류 가스 흐름 패턴을 제공합니다. 깨끗하고 매끄러운 표면을 갖춘 당사의 캐리어는 깨끗한 웨이퍼를 핸들링하는 데 적합합니다.
더 읽어보기문의 보내기가장 까다로운 고온 및 부식성 환경에서도 안정적이고 일관되게 작동할 수 있는 흑연 서셉터가 필요한 경우 액상 에피택시용 Semicorex 배럴 서셉터가 완벽한 선택입니다. 탄화규소 코팅은 우수한 열 전도성과 열 분포를 제공하여 반도체 제조 응용 분야에서 탁월한 성능을 보장합니다.
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