반도체 처리용 Semicorex 내구성 포커스 링은 반도체 처리에 사용되는 플라즈마 식각 챔버의 극한 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 우리의 포커스 링은 조밀하고 내마모성이 뛰어난 탄화규소(SiC) 코팅으로 코팅된 고순도 흑연으로 만들어졌습니다. SiC 코팅은 높은 내식성, 내열성 및 우수한 열전도성을 갖고 있습니다. 우리는 포커스 링의 수명을 향상시키기 위해 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 흑연 위에 SiC를 얇은 층으로 도포합니다.
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