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반도체 공정을 위한 내구성 있는 초점 링

반도체 공정을 위한 내구성 있는 초점 링

반도체 공정용 Semicorex 내구성 있는 초점 링은 반도체 공정에 사용되는 플라즈마 에칭 챔버의 극한 환경을 견디도록 설계되었습니다. 당사의 초점 링은 고밀도의 내마모성 실리콘 카바이드(SiC) 코팅으로 코팅된 고순도 흑연으로 만들어집니다. SiC 코팅은 내식성 및 내열성이 우수하고 열전도율이 우수합니다. 초점 링의 수명을 개선하기 위해 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 흑연에 얇은 층으로 SiC를 적용합니다.

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제품 설명

당사의 반도체 공정용 내구성 있는 초점 링은 웨이퍼 가장자리 또는 주변 주변의 에칭 균일성을 개선하여 오염 및 예정되지 않은 유지 보수를 최소화하도록 설계되었습니다. RTA(Rapid Thermal Annealing), RTP(Rapid Thermal Processing) 및 가혹한 화학적 세척에 매우 안정적입니다.

Semicorex는 반도체 공정을 위한 고품질의 비용 효율적인 내구성 있는 초점 링을 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

지금 당사에 연락하여 반도체 공정을 위한 당사의 내구성 있는 초점 링에 대해 자세히 알아보십시오.


반도체 공정용 내구성 있는 초점 링의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


반도체 공정용 내구성 있는 초점 링의 특징

â 고순도 흑연 및 SiC 코팅으로 핀홀 저항 및 수명 연장.

· 흑연 기판과 SiC 층 모두 열전도율이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

SiC 코팅은 수명을 향상시키기 위해 얇은 층으로 적용됩니다.



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