에피택셜 성장을 위한 Semicorex SiC 코팅 RTP 캐리어 플레이트는 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션입니다. 흑연, 세라믹 등의 표면에 MOCVD 가공된 고품질 탄소 흑연 서셉터와 석영 도가니를 갖춘 이 제품은 웨이퍼 핸들링 및 에피택셜 성장 처리에 이상적입니다. SiC 코팅 캐리어는 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 보장하므로 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 신뢰할 수 있는 선택입니다.
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