에피택셜 성장을 위한 SiC 코팅 RTP 캐리어 플레이트

에피택셜 성장을 위한 Semicorex SiC 코팅 RTP 캐리어 플레이트는 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션입니다. 흑연, 세라믹 등의 표면에 MOCVD 가공된 고품질 탄소 흑연 서셉터와 석영 도가니를 갖춘 이 제품은 웨이퍼 핸들링 및 에피택셜 성장 처리에 이상적입니다. SiC 코팅 캐리어는 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 보장하므로 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 신뢰할 수 있는 선택입니다.

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제품 설명

당사의 에피택시 성장용 SiC 코팅 RTP 캐리어 플레이트는 가장 까다로운 증착 환경 조건을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 내열성과 내식성을 갖춘 에피택시 서셉터는 에피택시 성장을 위한 완벽한 증착 환경에 노출됩니다. 캐리어의 미세한 SiC 크리스탈 코팅은 매끄러운 표면과 화학적 세척에 대한 높은 내구성을 보장하며, 소재는 균열 및 박리를 방지하도록 설계되었습니다.
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에피택셜 성장을 위한 SiC 코팅 RTP 캐리어 플레이트의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300