MOCVD용 Semicorex SiC 흑연 RTP 캐리어 플레이트는 뛰어난 내열성과 열 균일성을 제공하여 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션을 제공합니다. 고품질 SiC 코팅 흑연을 사용하는 이 제품은 에피택셜 성장을 위한 가장 가혹한 증착 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성은 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 대한 안정적인 성능을 보장합니다.
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