ICP 플라즈마 에칭 시스템을 위한 Semicorex의 SiC 코팅 캐리어는 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 당사의 캐리어는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성 및 내구성 있는 내화학성을 제공하는 미세한 SiC 크리스탈 코팅을 특징으로 합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex의 ICP 에칭 공정용 웨이퍼 홀더는 까다로운 웨이퍼 핸들링 및 박막 증착 공정을 위한 완벽한 선택입니다. 당사 제품은 우수한 내열성 및 내부식성, 균일한 열 균일성, 최적의 층류 가스 흐름 패턴을 자랑하여 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
더 읽어보기문의 보내기PSS 에칭 응용 분야를 위한 Semicorex의 실리콘 에칭 플레이트는 에피택셜 성장 및 웨이퍼 처리 공정을 위해 특별히 설계된 고품질 초순수 흑연 캐리어입니다. 당사의 캐리어는 혹독한 환경, 고온, 가혹한 화학적 세척을 견딜 수 있습니다. PSS 식각용 실리콘 식각판은 우수한 열분포 특성과 높은 열전도도를 가지며, 비용 효율적입니다. 당사의 제품은 많은 유럽 및 미국 시장에서 널리 사용되고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
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