알루미나 세라믹 엔드 이펙터라고도 불리는 Semicorex 알루미나 세라믹 로봇 팔은 웨이퍼 핸들링, 운송 및 위치 지정을 위한 반도체 프런트 엔드 제조에 주로 적용되는 중요한 세라믹 부품입니다. 신뢰할 수 있는 성능과 경쟁력 있는 비용을 모두 갖춘 Semicorex 알루미나 세라믹 로봇 암은 고정밀, 무오염, 무손상 웨이퍼 전송을 보장할 수 있습니다.
높은 청정도, 우수한 평행성, 정확한 치수, 안정적인 신뢰성 및 효율적인 작동을 특징으로 하는 세라믹 로봇 팔은 첨단 반도체 제조에 광범위하게 적용되는 필수 구성 요소입니다. 산업 자동화가 지속적으로 발전함에 따라 세라믹 로봇 팔에 대한 시장 수요는 꾸준히 증가하고 있습니다.
웨이퍼 제조, 광전지 분야, 정밀 전자 부문을 포함한 고급 산업은 장비 구성 요소에 엄격한 운영 요구 사항을 부과합니다. 세미코렉스알루미나 세라믹로봇 암은 아래와 같은 우수한 소재 성능 덕분에 진공 및 고온 조건에서 반도체 제조에 대한 이러한 엄격한 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
1. 높은 기계적 강도와 경도
2. 높은 융점과 안정적인 열 안정성
3. 탁월한 화학적 부식
4. 우수한 전기 절연 성능
| 속성 |
밀도 |
굴곡강도(20℃) |
압축강도(20℃) |
경도 (누프 1000gm) |
인장강도(25℃) |
열팽창계수 (25-1000℃) |
최대 사용 온도 |
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| 단위 | g/cm3 |
MPa |
MPa |
평점 |
MPa |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
||||||||||
| 99.5% Al₂O₃ |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
위의 데이터는 참고용입니다.
1. 고정도 핸들링
세미코렉스알루미나 세라믹 로봇 팔오염에 민감한 반도체 및 광전지 분야의 웨이퍼 제조 작업장에서 안정적인 웨이퍼 핸들링과 고정밀 웨이퍼 그립 및 이송에 이상적이며, 웨이퍼 청결도와 칩 수율을 안정적으로 확보합니다.
2.화학처리
Semicorex 알루미나 세라믹 로봇 팔은 강산과 알칼리의 부식을 견딜 수 있으며 화학 산업 및 신에너지 배터리 생산 분야와 같은 공격적인 화학적 조건에서 작동하는 데 매우 적합합니다.
3.고온 제조Semicorex 알루미나 세라믹 로봇 팔은 까다로운 고온 환경에서 신뢰할 수 있는 강도와 안정성을 유지하기 위한 요구 사항을 충족할 수 있기 때문에 유리 생산, 주조 및 야금 분야에서 널리 사용될 수 있습니다.