sic 팔

Semicorex Sic Arm은 최대의 신뢰성과 정밀도로 웨이퍼를 처리하도록 개발 된 특수 장치입니다. SIC 암과 같은 웨이퍼 전달 암은 에피 택셜 반응기, 이온 이식 시스템, 열 처리 등과 같은 고급 반도체 제조 장비에 나타납니다. 웨이퍼 전달 암은 복잡한 웨이퍼 취급 환경 내에서 웨이퍼의 정확한 움직임에 필수적입니다. 고순도를 사용하여 건설되었습니다실리콘 카바이드원자재 특성과 결합 

탁월한 열 및 화학적 안정성과 우수한 가공 제어는 SIC 암을 향후 반도체 제조를위한 신뢰할 수있는 솔루션으로 만듭니다.

Sic Arm은 극한 열 환경에서 뛰어난 성능을 가지고 있습니다. 기질 성장 및 기타 고온 공정에서는 웨이퍼 처리 부품에 기존의 재료의 특성을 쉽게 악화시키는 지속적인 열을받을 수 있습니다. 실리콘 카바이드는 고온에서 강도 및 치수 정확도 (유한 치수 공차)를 모두 유지하여 웨이퍼가 전송 또는 처리 중에 정확하게 앉아있을 수 있도록하고 웨이퍼 오정렬, 보증 또는 오염을 사실상 제거 할 수 있도록합니다. SIC 제품의 탁월한 성능을 가진 세라믹; SIC 암은 산화되지 않고 금속처럼 왜곡되며, 스트레스 균열 인 세라믹과 같은 실패 성능 특성이 있습니다.

화학 저항은 SIC 암의 또 다른 정의 특성입니다. 반도체 환경에서 부식성 가스, 반응성 화학 물질 및 혈장 노출이 일반적입니다. 그러한 조건에서 악화되는 취급 팔은 기계적 실패를 위험에 빠뜨릴뿐만 아니라 웨이퍼의 오염을 위험에 빠뜨립니다.실리콘 카바이드이러한 공격적인 조건을 견딜 수있는 화학적으로 불활성 표면을 제공합니다. 결과는 표면 무결성과 청결을 유지하는 매우 신뢰할 수있는 구성 요소로, 장치 성능을 손상시킬 수있는 불순물로부터 웨이퍼를 보호합니다. 이 내구성은 장비 다운 타임을 크게 줄이고 교체 주파수를 낮추며 프로세스 일관성을 향상시킵니다.

재료 탄력성을 넘어 SIC ARM은 높은 수준의 가공 정확도를 충족합니다. 웨이퍼 처리에는 마이크로 미터에 대한 정확도가 필요합니다. 사양이 약간 벗어난 공차는 지오메트리 또는 표면 마감의 변화를 일으켜 웨이퍼 파손 또는 웨이퍼 오정렬에서 더 높은 위험을 초래할 수 있습니다. 현대식 제조 기술을 사용함으로써 SIC 암은 적절한 공차, 평탄도 및 매끄러운 표면으로 생산됩니다. 고정밀 애플리케이션은 수천 개의 핸들링주기 동안 웨이퍼의 일관된 위치와 반복 가능한 성능을 보장하는 데 이상적이며, 이는 요구되는 사양이있는 대량의 반도체 생산에 이상적입니다.

다목적 성은 SIC 암의 또 다른 장점입니다. 다양한 반도체 도구와 프로세스에는 다른 형상, 크기 및 디자인의 암이 필요합니다. SIC 암은 이러한 특정 설계 특성을 통합하도록 수정 될 수 있으므로 에피 택시 도구, 이온 임플란트 장비 또는 열 처리 원자로 등 광범위한 시스템에 쉽게 맞출 수 있습니다. 표면 마감, 구조 설계 및 마감재는 특정 응용 프로그램과 관련하여 최상의 성능을 제공하도록 수정 및 엔지니어링 할 수 있습니다.

SIC 암에는 운영 효율성도 있습니다. SIC의 높은 내구성과 신뢰성은 교체가 드물고 가동 중지 시간을 최소화합니다. 둘 다 장기 유지 보수 비용이 낮습니다. 생산 반도체 팹의 경우 이는 더 나은 처리량, 생산 안정성 향상 가능성 및 더 높은 장치 수율을 실현하는 것을 의미합니다.

SIC ARM은 기계적 응력과 매우 엄격한 처리 조건을 모두 견딜 수 있어야하는 웨이퍼 전송 시스템에서 반도체 커뮤니티에서 도입 된 이후 광범위한 사용을 보았습니다. SIC ARM은 웨이퍼를 이온 이식 중에 제자리에 고정 시키거나 가스 또는 열 처리 환경을 통해 전달하는 경우, SIC ARM은 안전하고 정확하며 오염이없는 웨이퍼 처리를 제공합니다. 현대의 반도체 장비 포트폴리오에 SIC 암을 도입함으로써 신뢰성이 분명합니다.

Semicorex Sic Arm은 고급의 바람직한 특성의 성공적인 조합입니다.실리콘 카바이드 물질, 정밀 엔지니어링 및 고온 안정성. 화학적 안정성, 가공 능력 및 정밀 제조의 조합은 SIC 암이 가장 힘든 반도체 공정에서 안정적인 웨이퍼 처리를 제공하는 데 적합합니다. SIC ARM은 효율성, 수율 및 공정 안정성과 관련하여 장기 운영 성능에 대한 웨이퍼 처리에 대한 최종 사용자 소모품 이점을 위해 사용자 정의 가능하고 내구성이 뛰어납니다. 현대 및 최첨단 웨이퍼 처리 시스템을 찾고 있거나 상자 웨이퍼 처리 솔루션을 찾는 제조업체는 SIC ARM을 반도체 산업의 고급 요구를위한 입증 된, 고성능 및 유능한 웨이퍼 전송 및 취급 시스템으로보고 의존합니다.