MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터

Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 탄화규소층, 에피택시 반도체 등 반도체 산업에 주력하고 있습니다. 당사의 MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터는 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽과 미국 시장 대부분을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

MOCVD용 Semicorex SiC 코팅 흑연 서셉터는 웨이퍼 칩의 에픽시얼 층을 성장시키는 공정에 사용되는 고순도 실리콘 카바이드 코팅 흑연 캐리어입니다. MOCVD의 중심판으로, 기어나 링 모양입니다. MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터는 내열성 및 내식성이 뛰어나 극한 환경에서도 안정성이 뛰어납니다.
Semicorex에서는 고객에게 고품질 제품과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 최고의 재료만을 사용하며, 우리 제품은 최고 수준의 품질과 성능을 충족하도록 설계되었습니다. MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터도 예외는 아닙니다. 귀하의 반도체 웨이퍼 처리 요구 사항에 대해 당사가 어떻게 도움을 드릴 수 있는지 자세히 알아보려면 지금 당사에 문의하십시오.

MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300

MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특징

- 벗겨짐을 방지하고 모든 표면에 코팅을 보장합니다.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세한 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
- 최상의 층류 가스 흐름 패턴 달성
- 열 프로파일의 균일성 보장
- 오염이나 불순물 확산 방지