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SiC 코팅 MOCVD 서셉터

SiC 코팅 MOCVD 서셉터

Semicorex는 SiC Coated MOCVD Susceptor의 선도적인 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 제품은 웨이퍼 칩의 에피층을 성장시키기 위해 반도체 산업을 위해 특별히 설계되었습니다. 고순도 실리콘 카바이드 코팅 흑연 캐리어는 기어 또는 링 모양 디자인으로 MOCVD의 중앙 플레이트로 사용됩니다. 당사의 서셉터는 MOCVD 장비에 널리 사용되며 높은 내열성 및 내식성을 보장하며 극한 환경에서 뛰어난 안정성을 보장합니다.

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제품 설명

SiC Coated MOCVD Susceptor의 가장 중요한 특징 중 하나는 박리를 방지하면서 모든 표면에 코팅을 보장한다는 것입니다. 제품은 1600°C까지의 고온에서 안정적인 고온 내산화성을 가지고 있습니다. 고순도는 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착을 사용하여 달성됩니다. 이 제품은 미세한 입자로 표면이 조밀하여 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 대한 부식에 매우 강합니다.
당사의 SiC Coated MOCVD Susceptor는 열 프로필의 균일성을 보장하는 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩에서 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격 이점을 제공하며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리 팀은 우수한 고객 서비스와 지원을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 귀하의 비즈니스 성장을 돕기 위해 고품질의 신뢰할 수 있는 제품을 제공하는 장기적인 파트너가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.


SiC 코팅된 MOCVD 서셉터의 파라미터

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


SiC Coated MOCVD 서셉터의 특징

- 박리를 피하고 모든 표면에 코팅을 하십시오.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착에 의해 만들어집니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.
- 최고의 층류 가스 흐름 패턴 달성
- 열 프로파일의 균일성 보장
- 오염이나 불순물 확산 방지




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