SIC 코팅 웨이퍼 캐리어

Semicorex SIC 코팅 웨이퍼 캐리어는 에피 택셜 성장, 확산 및 CVD와 같은 반도체 응용 분야에서 고온 공정을위한 웨이퍼를 지원하는 고급 구성 요소입니다. 운송 업체는 조밀하고 균일 한 균일을 사용하여 최대 표면 이점과 결합 된 고급 흑연의 구조적 이점을 제공합니다.SIC 코팅힘든 가공 조건 하에서 최적의 열 안정성, 화학 저항 및 기계적 강도.

최적의 열전도율을위한 고급 흑연 코어

SIC 코팅 웨이퍼 캐리어는 초 미세 곡물, 고순도 흑연의 기판 재료입니다. 그것은 효율적인 열 전도체이며 가볍고 가공 가능성이 있으며, 고유 한 웨이퍼 크기 및 공정 요소에 필요한 복잡한 형상으로 제작 될 수 있습니다. 흑연은 웨이퍼 표면에서 균일 한 가열을 제공하여 열 구배 및 열 처리 결함의 발생을 제한합니다.

표면 보호 및 공정 호환성을위한 조밀 한 SIC 코팅

흑연 담체는 고순도, CVD 실리콘 카바이드로 코팅된다. SIC 코팅은 수소, 염소 및 실란과 같은 종의 부식, 산화 및 공정 가스 오염에 대한 불 침투성, 기공이없는 보호를 제공합니다. 최종 결과는 차원 안정성을 저하 시키거나 잃지 않는 저분자의 터프 캐리어로, 수많은 열 사이클을 받도록 선택하며 웨이퍼 오염에 대한 잠재력이 크게 감소한 것을 나타냅니다.

혜택과 주요 기능

열 저항 : SIC 코팅은 1600 ° C를 초과하는 온도에 안정적이며, 이는 고온 에피 택시 및 확산 요구에 최적화됩니다.

우수한 화학 저항성 : 모든 부식성 공정 가스 및 청소 화학 물질을 견딜 수 있으며 더 긴 수명과 가동 중지 시간이 줄어 듭니다.

낮은 입자 생성 : SIC 표면은 벗겨지고 입자 흘림을 최소화하고 장치 수율에 필수적인 공정 환경을 깨끗하게 유지합니다.

치수 제어 : 균일 한 웨이퍼지지를 보장하여 웨이퍼로 자동 처리 할 수 있도록 공차를 닫기 위해 정확하게 설계되었습니다.

비용 절감 : 수명이 길고 유지 보수 요구가 낮아지면 기존 흑연 또는 베어 캐리어보다 총 소유 비용 (TCO)이 적습니다.

응용 프로그램 :

SIC 코팅 웨이퍼 캐리어는 전력 반도체 제조, 화합물 반도체 (예 : GAN, SIC), MEM, LED 및 공격적인 화학 환경에서 고온 처리가 필요한 기타 장치의 제조에 널리 사용됩니다. 이들은 표면 청정, 내구성 및 열 균일 성이 웨이퍼 품질 및 생산 효율에 직접적인 영향을 미치는 에피 택셜 반응기에서 특히 필수적이다.

사용자 정의 및 품질 관리

SemicorexSIC 코팅웨이퍼 캐리어는 엄격한 품질 관리 프로토콜에 따라 생산됩니다. 또한 표준 크기 및 구성에 대한 유연성이 있으며 고객 요구 사항을 충족하는 엔지니어 솔루션을 사용자 정의 할 수 있습니다. 4 인치 또는 12 인치 웨이퍼 형식이 있든 수평 또는 수직 반응기, 배치 또는 단일 웨이퍼 처리 및 특정 에피 택시 레시피에 대한 웨이퍼 캐리어를 최적화 할 수 있습니다.