실리콘 어닐링 보트

깨끗한 가공 환경을 위한 초고순도: 초고순도 실리콘(순도 최대 13N)으로 제작된 Semicorex Silicon Annealing Boat는 고온 처리 중 오염 위험을 최소화합니다. 이러한 탁월한 순도는 웨이퍼가 깨끗한 환경에 노출되도록 보장하여 장치 성능을 저하시키고 수율을 감소시킬 수 있는 원치 않는 불순물의 유입을 방지합니다.

손상 최소화를 위한 웨이퍼 접촉 감소:Silicon Annealing Boat의 매끄럽고 광택이 나는 표면은 웨이퍼와의 접촉점을 최소화하여 운송 및 처리 중 긁힘, 치핑 또는 기타 기계적 손상의 위험을 크게 줄입니다. 이렇게 조심스럽게 취급하면 웨이퍼의 무결성이 보존되어 전체 공정 수율이 향상되고 장치 품질이 향상되는 데 기여합니다.

최적화된 성능을 위한 맞춤형 디자인: Silicon Annealing Boat 설계는 보트 모양, 길이, 각도 및 웨이퍼 지지 톱니 수의 변화를 포함한 특정 공정 요구 사항을 충족하도록 맞춤화될 수 있습니다. 이러한 맞춤화를 통해 가스 흐름 역학, 온도 균일성 및 용광로 내 웨이퍼 간격을 최적화할 수 있어 광범위한 장치 기하학적 구조 및 공정 매개변수에 대해 일관되고 반복 가능한 처리 결과를 보장할 수 있습니다.

확장된 작동을 위한 높은 폴리실리콘 증착 한계:실리콘 어닐링 보트는 폴리실리콘 증착에 대한 높은 내성을 제공하므로 청소 또는 교체가 필요하기 전에 확장된 작동이 가능합니다. 이러한 연장된 수명은 유지 관리와 관련된 장비 가동 중지 시간을 줄여 생산 능력을 높이고 전체 제조 비용을 낮추는 데 기여합니다.