태양광 흑연 보트

Semicorex Solar Graphite Boat는 어닐링, 확산 및 증착과 같은 다양한 열 공정 중에 반도체 웨이퍼를 고정하기 위한 안정적인 플랫폼 역할을 합니다. 견고한 구조와 뛰어난 내열성을 갖춘 Solar Graphite Boat는 반도체 제조, 연구 실험실 및 기타 첨단 산업 응용 분야에 없어서는 안 될 도구입니다.

다용성을 염두에 두고 설계된 Solar Graphite Boat는 특정 고객 요구 사항을 충족하도록 맞춤 설정할 수 있습니다. 강화된 내구성과 화학적 부식에 대한 저항성을 위해 탄화규소(SiC)로 코팅하든, 순도가 가장 중요한 응용 분야를 위해 코팅하지 않은 채로 두든, 각 태양광 흑연 보트는 일관된 성능과 수명을 제공하도록 세심하게 제작되었습니다.

Solar Graphite Boat의 주요 특징은 다음과 같습니다.

탁월한 열 안정성: 반도체 공정에서 발생하는 극한의 온도를 견딜 수 있어 균일한 열 분포와 열 주기에 대한 정밀한 제어가 보장됩니다.

고순도 흑연 구조: 오염을 최소화하고 반도체 웨이퍼의 무결성을 유지하기 위해 프리미엄 흑연 재료로 제조되었습니다.

정밀 엔지니어링: 다양한 웨이퍼 크기와 구성을 수용할 수 있도록 설계되었으며 정확한 치수와 표면 마감 처리로 안전한 취급과 웨이퍼 손상 최소화를 보장합니다.

TaC 코팅 흑연 부품은 확산 공정, 산화 어닐링, 저압 화학 기상 증착(LPCVD) 및 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)을 포함한 주요 반도체 공정 기술을 최적화하는 데 중추적인 역할을 합니다. TaC 코팅 흑연 부품은 온도에 대한 정밀한 제어를 촉진하고 기판 전체의 균일성을 보장함으로써 제품 품질과 제조 효율성을 향상시키는 데 크게 기여합니다.

Semicorex TaC 코팅 흑연 부품은 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 세심하게 설계되었습니다. 확산 공정 강화부터 다양한 증착 기술의 품질 및 효율성 향상까지 TaC 코팅 흑연 부품은 반도체 제조의 우수성을 추구하는 데 없어서는 안 될 자산입니다.