탄탈륨 카바이드 부품

Semicorex 탄탈륨 카바이드 부품은 견고한 TaC 코팅이 적용된 특수 흑연 부품으로, SiC(실리콘 카바이드) 결정 성장 응용 분야의 고성능 사용을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 부품은 SiC 결정 생산과 관련된 고온 환경의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되어 내구성, 화학적 안정성 및 향상된 내열성을 모두 제공합니다.

실리콘 카바이드(SiC) 제조 공정에서 탄탈륨 카바이드 부품은 안정적인 온도 제어와 고순도 환경이 필수적인 결정 성장 단계에서 중요한 역할을 합니다. SiC 결정 성장에는 구조적 무결성을 손상시키거나 성장하는 결정을 오염시키지 않으면서 극한의 온도와 부식성 환경을 견딜 수 있는 재료가 필요합니다. TaC 코팅 흑연 부품은 고유한 특성으로 인해 이 작업에 매우 적합하며, 열 역학을 정밀하게 제어하고 최적의 SiC 결정 품질에 기여합니다.

탄탈륨 카바이드 코팅의 장점:

고온 저항:탄탈륨 카바이드는 녹는점이 3800°C 이상이므로 내열성이 가장 뛰어난 코팅 중 하나입니다. 이러한 높은 열 내성은 일관된 온도가 필수적인 SiC 성장 공정에서 매우 중요합니다.

화학적 안정성:TaC는 고온 환경에서 반응성 화학물질에 대한 강한 저항성을 나타내어 탄화규소 재료와의 잠재적인 상호작용을 줄이고 원치 않는 불순물을 방지합니다.

향상된 내구성과 수명:TaC 코팅은 흑연 기판 위에 단단한 보호층을 제공하여 부품의 수명을 크게 연장합니다. 이는 작동 수명을 연장하고, 유지 관리 빈도를 최소화하며, 가동 중지 시간을 줄여 궁극적으로 생산 효율성을 최적화합니다.

열충격 저항:탄탈륨 카바이드는 급격한 온도 변화에서도 안정성을 유지하는데, 이는 온도 변동이 제어되는 SiC 결정 성장 단계에서 매우 중요합니다.

낮은 오염 가능성:결정 생산 시 최종 SiC 결정에 결함이 없도록 하려면 재료 순도를 유지하는 것이 중요합니다. TaC의 불활성 특성은 원치 않는 화학 반응이나 오염을 방지하여 결정 성장 환경을 보호합니다.

기술 사양:

기본 재료:치수 정확도를 위해 정밀 가공된 고순도 흑연.

코팅 재료:첨단 화학기상증착(CVD) 기술을 사용해 탄탈륨 카바이드(TaC)를 적용했습니다.

작동 온도 범위:최대 3800°C의 온도를 견딜 수 있습니다.

치수:특정 가열로 요구 사항을 충족하도록 맞춤화할 수 있습니다.

청정:성장 중 SiC 재료와의 상호작용을 최소화하는 고순도.

Semicorex 탄탈륨 카바이드 부품은 특히 SiC 결정 성장 응용 분야에 맞게 맞춤화된 뛰어난 열적 및 화학적 탄력성을 자랑합니다. 고품질 TaC 코팅 부품을 통합함으로써 고객이 우수한 결정 품질, 생산 효율성 향상 및 운영 비용 절감을 달성하도록 돕습니다. 귀하의 모든 반도체 제조 요구 사항에 대해 업계 최고의 솔루션을 제공하는 Semicorex 전문 지식을 믿으십시오.