전문 제조 업체로서 TaC 코팅 링을 제공하고 싶습니다. 반도체 장비용 최첨단 솔루션인 CVD Tac Coated Ring을 소개합니다. 이 최첨단 제품은 뛰어난 내구성과 마모에 대한 저항성을 제공하는 고급 화학 기상 증착(CVD) 코팅을 자랑합니다.
전문 제조 업체로서 TaC 코팅 링을 제공하고 싶습니다. 반도체 제조 공정에 사용하도록 특별히 설계된 CVD Tac 코팅 링은 높은 수준의 성능과 신뢰성을 제공하여 매번 사용할 때마다 최적의 결과를 보장합니다. CVD 코팅은 부식에 대한 탁월한 보호 기능을 제공하므로 이 링은 가혹한 화학적 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
이 링은 정밀하고 세세한 부분까지 세심하게 제작되어 귀하의 장비에 완벽하게 들어맞도록 보장합니다. 또한 경량으로 설계되어 취급 및 설치가 용이합니다. CVD Tac 코팅 링은 열에 강한 고품질 소재로 제작되어 고온에서도 무결성을 유지합니다.
TaC 코팅의 매개변수
프로젝트 |
매개변수 |
밀도 |
14.3(gm/cm3) |
방사율 |
0.3 |
CTE (×10-6/케이) |
6.3 |
경도(홍콩) |
2000 |
저항(Ω-cm) |
1×10-5 |
열 안정성 |
<2500℃ |
흑연 치수 변경 |
-10~-20um (참고값) |
코팅 두께 |
≥20um 일반 값(35um±10um) |
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위의 값은 일반적인 값입니다. |
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TaC 코팅의 특징
오염 감소 및 수율 증가를 위한 고순도 재료
균일한 가열 및 냉각을 위한 우수한 열전도율
내구성 향상을 위한 탁월한 열충격 저항성
특정 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 크기와 모양
요청 시 맞춤화 옵션 이용 가능