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탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 부품

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제품 설명

탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 부품은 정밀도, 신뢰성 및 가혹한 조건에 대한 저항이 가장 중요한 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을 합니다. 에칭 링 및 도가니를 포함하여 특수 처리된 부품은 반도체 제조에서 직면하는 까다로운 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다.

에칭 링과 같은 탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 부품은 화학 기상 증착(CVD) 및 물리 기상 증착(PVD)과 같은 공정을 위해 반도체 산업에서 사용되는 중요한 구성 요소입니다. 이러한 링은 에칭 공정 중에 반응성 가스 및 고온 환경과 직접 접촉합니다.

탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 부품은 탄탈륨 카바이드의 얇은 층으로 코팅되어 있습니다. 이 코팅은 뛰어난 내마모성과 부식성 화학물질에 대한 보호 기능을 제공하여 수명과 일관된 성능을 보장합니다.

탄탈륨 카바이드 코팅은 에칭 링의 경도와 화학적 안정성을 향상시켜 성능 저하와 오염을 방지합니다. 또한 균일한 에칭 결과와 작동 수명 연장에 기여합니다.

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