8. 인치 EPI 지지자

Semicorex 8 인치 EPI 감수자는 반도체 제조를위한 에피 택셜 증착 작업에 사용되는 첨단 웨이퍼지지 부품입니다. 열 안정성, 화학적 저항성 및 증착의 균일 성이있는 에피 택셜 반응기에 사용되는 두껍고 연속적인 실리콘 카바이드 (SIC)로 코팅 된 충분히 인간 흑연 흑연 코어 재료로 제조됩니다. 8 인치 직경은 200mm 웨이퍼를 처리하는 장비의 산업 사양에 따라 표준화되므로 기존 제작 멀티 태스킹에 안정적인 통합을 제공합니다.  

에피 택셜 성장에는 고도로 제어 된 열 환경과 비교적 불활성 재료 상호 작용이 필요합니다. 두 경우 모두 SIC 코팅 흑연이 긍정적으로 수행됩니다. 흑연 코어는 매우 높은 열전도율과 매우 낮은 열 팽창을 가지며, 이는 흑연 코어로부터의 열이 빠르게 전달되고 웨이퍼 표면을 가로 질러 일관된 온도 그라디언트를 유지할 수 있음을 의미합니다. SIC의 외부 층은 사실상 감수자의 외부 껍질입니다. SIC 층은 감수자 코어를 고온, 수소와 같은 공정 가스의 부식성 부산물, 염소화 실란의 고 부식성 특성 및 반복 된 가열 사이클에 걸쳐 야기 된 기계적 마모의 누적 특성으로 인한 기계적 파괴로부터 보호를 보호합니다. 전반적으로 우리는이 이중 재료 구조가 충분히 두껍다면, 감수자는 장기간 가열 기간 동안 기계적으로 건전하고 화학적으로 불활성을 유지할 것이라고 합리적으로 예측할 수 있습니다. 결론적으로, 우리는 관련 열 범위 내에서 작동 할 때이를 경험적으로 관찰했으며, SIC 층은 프로세스와 그래픽 코어간에 안정적인 장벽을 제공하여 제품 품질에 대한 기회를 최대화하면서 도구 서비스 길이를 극대화합니다.

흑연 구성 요소는 반도체 제조 공정에서 필수적이고 매우 중요한 부분을 가지고 있으며, 흑연 재료 품질은 제품의 성능에 중요한 요소입니다. Semicorex에서 우리는 생산 공정의 모든 단계에서 엄격한 제어를 가지고 있으므로 배치에서 배치에 이르기까지 재현 가능한 재료 균질성과 일관성을 가질 수 있습니다. 소규모 배치 생산 공정을 통해 챔버 부피가 50 입방 미터 인 작은 탄화 용광로가있어 생산 공정에서 더 엄격한 제어를 유지할 수 있습니다. 각 흑연 블록은 우리의 프로세스 전반에 걸쳐 추적 할 수있는 개별 모니터링을 겪습니다. 퍼니스 내의 멀티 포인트 온도 모니터링 외에도 재료 표면의 온도를 추적하여 온도 편차를 생산 공정 전반에 걸쳐 매우 좁은 범위로 최소화합니다. 열 관리에 대한 우리의 관심은 내부 응력을 최소화하고 반도체 응용을위한 매우 안정적이고 재현 가능한 흑연 구성 요소를 생성 할 수있게합니다.

SIC 코팅은 화학 증기 증착 (CVD)을 통해 적용되며, 입자 생성을 감소시키는 미세한 곡물 매트릭스로 고체적이고 깨끗한 완성 된 표면을 생성한다; 따라서 깨끗한 CVD 프로세스가 향상됩니다. 코팅 된 필름 두께의 CVD 공정 제어는 균일 성을 보장하고 열 순환을 통한 평평성 및 치수 안정성에 중요합니다. 이것은 궁극적으로 우수한 웨이퍼 평면도를 제공하여 에피 택시 프로세스 동안 가장 균일 한 층 증착을 초래합니다 .— 전력 MOSFET, IGBT 및 RF 구성 요소와 같은 고성능 반도체 장치를 달성하기위한 주요 매개 변수입니다.

치수 일관성은 Semicorex에 의해 제조 된 8 인치 EPI 감수자의 또 다른 근본적인 장점입니다. 감수자는 엄격한 공차로 설계되어 웨이퍼 핸들링 로봇과 가열 구역에 정밀한 적합성을 제공합니다. 감수자 표면은 감수자가 배치 될 특정 에피 택셜 반응기의 특정 열 및 흐름 조건에 대해 연마되고 맞춤화된다. 예를 들어 리프트 핀 구멍, 포켓리스 또는 슬립 방지 표면과 같은 옵션은 모두 OEM 공구 설계 및 프로세스의 특정 요구 사항과 일치 할 수 있습니다.

각 감수자는 생산 중 열 성능 및 코팅 무결성 모두에 대한 여러 테스트를 거칩니다. 치수 측정 및 검증, 코팅 접착력 테스트, 열 충격 저항 테스트 및 화학 저항 테스트를 포함한 품질 관리 방법은 공격적인 에피 택셜 환경에서도 신뢰성과 성능을 달성 할 수 있도록 적용됩니다. 결과는 궁극적으로 반도체 제조 산업의 현재 요구 사항을 충족하고 초과하는 제품입니다.

Semicorex 8 인치 EPI 감수자는 열전도율, 기계적 강성 및 화학적 불활성의 균형을 맞추는 SIC 코팅 흑연으로 만들어집니다. 8 인치 감수자는 고온에서 안정적이고 깨끗한 웨이퍼지지를 생성하는 데 성공하여 고 수확량, 고합성 정의 에피 택셜 프로세스를 생성하는 데 성공하기 때문에 대량 에피 택시 성장 응용 분야의 핵심 구성 요소입니다. EPI 감수자의 8 인치 크기는 시장의 표준 8 인치 장비에서 가장 일반적으로 볼 수 있으며 기존 고객 장비와 상호 교환 할 수 있습니다. 표준 구성에서 EPI 감수기는 사용자 정의 가능합니다.