AL2O3 진공 척

Semicorex Alloom chucks는 반도체 산업의 웨이퍼 처리, 고정 및 처리 응용 프로그램을 위해 개발 된 정밀 미세 다공성 세라믹 성분입니다. 35%-40%의 다공성이 제어 된 검은 색 알루미나로 만들어진이 제품은 진공 흡착 공정을위한 매우 안정적이고 깨끗하며 신뢰할 수있는 매체입니다. Chuck은 고급 제조 기술을 사용하여 기판의 세라믹 처리를 기능 표면에 결합하여 중요한 공정 단계에서 사용자의 연약한 웨이퍼에 대한 일관된 흡입 성능을 제공합니다.

검은색알루미나 (Allool); 금속 및 폴리머와 비교할 때 기계적 강도, 경도 및 화학 저항의 독특한 균형이 있습니다. 미세 다공성 구조는 제어 된 다공성에 대해 최적화되어 진공 척의 표면에 걸쳐 일관된 진공 분포를 제공합니다. 웨이퍼 척의 전체 표면적 전체에 걸친 일관된 진공 분포는 국소화 된 응력 농도를 최소화하여 웨이퍼 왜곡, 에지 치핑 및 파손의 위험을 제한합니다. 웨이퍼 제조가 지속적으로 직경이 확장되고 기하학 및 장치가 더욱 깨지기 쉬워지면서 프로세스 수율 및 개선 된 웨이퍼 처리 신뢰성이 중요한 요구 사항이됩니다.

35-40%의 제어 된 다공성은이 진공 척의 주요 특성을 나타냅니다. 최적화 된 기공 네트워크는 기공 지역으로부터의 공기 대피 동안 난류를 최소화하고 기계적 강도와 내구성을 유지하면서 유지력을 유지할 수 있습니다. 대조적으로, 기계적 클램프는 현지화 된 응력 지점을 유발하고 개별 웨이퍼의 기계적 특성에 대해 작동하는 플레이트를 사용합니다. 따라서, 미세 다공성 알루미나 표면은 기계적 접근 동안 웨이퍼를 평평하게 유지하는 데 우수하다. 이를 통해 리소그래피, 에칭, 증착 및 계측을 포함하여 웨이퍼 평탄도 및 부드러운 홀드로부터 이익을 얻는 첨단 기술 반도체 프로세스에 대한 완벽한 후보를 만듭니다.

열 관점에서 볼 때, 검은 알루미나 재료는 온도가 높은 동안 치수 안정성을 유지하는이 능력이 우수합니다. 열 팽창 계수가 낮 으면 진공 척은 가열 및 냉각주기 중에도 정확하게 유지 될 수 있으며, 이는 웨이퍼 처리 환경에서 종종 발생하는 빠른 온도 변동으로 인해 중요한 측면입니다. 이 세라믹의 경도와 내마모성은 또한 척의 수명을 증가시켜 장비 운영자의 유지 보수 빈도를 줄이고 총 소유 비용을 낮추는 것입니다.

알루미나 세라믹의 화학적 불활성은 또 다른 실질적인 특성입니다. 반도체 팹에서 장비의 성분은 공격적인 화학 물질, 세척제 또는 혈장 환경을 열화하지 않고 견딜 수 있어야합니다. Black Alumina는 부식, 산화 및/또는 표면 오염에 저항하기위한 탁월한 특성을 가지므로, 여기에서 작동주기 기간 동안 구조 및 구조/위상 안정성을 유지합니다. 이 속성은 또한 웨이퍼가 오염 된 오염이 없음을 의미하여 해당 장치의 수행 방식으로부터 회로를 보호하고 클린 룸 프로토콜을 신뢰합니다.

Allool 진공 척은 우수한 기능적 성능을 나타낼뿐만 아니라 표면 마감도 엄격하게 제어됩니다. 마감은 균일 한 평탄도 및 부드러움을 생성하는 고정밀 가공 및 연마 공정을 사용하여 생성되어 흠집이나 표면 손상없이 섬세한 웨이퍼를 유지할 수 있습니다. 재료의 고도로 조작 된 다공성은 흡입과 표면 보호 사이의 적절한 균형을 제공하여 웨이퍼의 적절한 유지력을 허용하면서 얇고 부서지기 쉬운 기판에 대한 손상을 피합니다.

운영 관점에서 볼 때 Allool chucks는 현대 반도체 제조에서 중요한 구성 요소입니다. 자동화를 용이하게하여 웨이퍼를 선택, 배치, 정렬 및 처리하여 프로세스 요구 사항을 안정적으로 만족시킬 수 있습니다. Alumina의 검은 색은 또한 광학 검사 및 측정 프로세스, 특히 고정밀 광학 장비가 사용되는 경우 광 반사를 줄임으로써 실용적인 이점을 제공하고 제공합니다.

고급 세라믹 기술과 잘 고려 된 설계를 결합한 것은 반도체 제조업체의 웨이퍼 취급 문제를위한 오래 지속되는 고성능 솔루션 인 Alloom Vacuum Chucks에서 산출했습니다. Allool 진공 척은 웨이퍼 손실 감소를 통해 생산성을 향상시키고 내구성으로 인한 다운 타임을 줄이며 일관된 진공 유지력을 제공하여 공정 안정성을 향상시킵니다.

미세 다공성 검은 색으로 만든 Semicorex allool 진공 척알루미나단순한 고정물이 아닙니다. 정밀 반도체 제조의 중요한 인 에이 블러입니다. 최적화 된 다공성, 탁월한 재료 특성 및 강력한 성능으로 가장 까다로운 제조 공정에서 안정적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. 더 높은 수율, 개선 된 공정 효율성 및 우수한 장비 성능을 달성하려는 제조업체의 경우 Black Alumina Vacuum Chuck은 필수적인 선택입니다.