맞춤형 다공성 세라믹 척

맞춤형다공성 세라믹 척베이스와 다공성 세라믹 플레이트로 구성됩니다. 진공 시스템에 연결하면 웨이퍼와 세라믹 사이의 공기를 배출하여 저압 환경이 생성됩니다. 진공 부압 하에서 웨이퍼는 척 표면에 단단히 접착되어 궁극적으로 안전하고 안정적인 고정 및 위치 결정을 달성합니다.

Semicorex는 고급스럽고 개인화된 서비스를 제공하는 동시에 소중한 고객의 근본적인 요구 사항을 지속적으로 우선시합니다. 우리는 최종 맞춤형 다공성 세라믹 척이 다양한 모양과 크기의 공작물에 원활하게 적응할 수 있도록 다양한 옵션을 제공하여 장비 작동 효율성과 생산 안정성을 효과적으로 향상시킵니다.

사양:

정밀 가공된 맞춤형 다공성 세라믹 척은 공작물 표면 전체에 균일한 흡착력 분포를 제공하여 고르지 않은 힘 적용으로 인한 공작물 변형이나 가공 부정확성을 효과적으로 방지합니다. 또한, 강력한 화학적 내식성과 탁월한 고온 저항성 덕분에 맞춤형 다공성 세라믹 척은 까다롭고 복잡한 생산 환경에서도 장기간 안정적인 작동을 유지합니다.

응용 프로그램 시나리오:

1. 반도체 제조: 웨이퍼 박화, 다이싱, 연삭, 연마 등의 웨이퍼 가공; 화학적 기상 증착(CVD) 및 물리적 기상 증착(PVD) 공정; 이온 주입.

2. 광전지 제조: 광전지의 실리콘 웨이퍼 다이싱, 코팅 및 패키징 공정.

3. 정밀 가공: 얇고 취약하거나 고정밀 공작물을 클램핑하고 고정합니다.