실리콘 카바이드 척

세미코렉스실리콘 카바이드 척기능성 흡착 장치는탄화규소(SiC) 세라믹 소재. 이 제품은 주로 반도체, 광전지, 정밀 제조 및 고온 저항, 내마모성, 화학적 부식 저항 및 재료 청결에 대한 요구 사항이 매우 높은 기타 시나리오에 사용됩니다.

SiC 세라믹 소재는 높은 내열성을 가지며 고온 환경에서도 구조적 안정성을 유지합니다. 우수한 열전도율로 흡착 시 발생하는 열을 빠르게 소멸시켜 가공물의 과열을 방지합니다. 재료의 탁월한 경도로 인해 거칠거나 단단한 작업물을 잡는 데 적합합니다. 또한 SiC 세라믹 소재는 화학적 불활성으로 인해 강산, 강알칼리 및 유기 용매에 의한 부식에 강합니다. 이 소재의 불순물 침전 성능이 낮아 불순물 오염을 방지하고 장비의 정상 작동 시간을 연장하여 반도체 산업의 초청정 요구 사항을 충족합니다.

Semicorex 탄화규소 척의 일반적인 특성

정밀 광학 및 전자제품 제조

2. 거울 연마

3.초경량

4. 높은 강성

5.낮은 열팽창계수

6. 우수한 내마모성

실리콘 카바이드 척의 응용 시나리오

반도체 제조

웨이퍼 이송 및 처리: 포토리소그래피 및 에칭과 같은 공정에서 웨이퍼는 변위 오류를 방지하기 위해 진공 환경에서 안정적으로 흡착되어야 합니다.

플라즈마 내식성 : 반도체 에칭 공정에서 내식성이 우수하여 제품의 수명을 연장할 수 있습니다.

태양광전지 생산

실리콘 웨이퍼 절단: 실리콘 웨이퍼를 흡착하여 절단 진동을 방지하고 실리콘 웨이퍼의 조각화 속도를 줄입니다.

정밀 광학 및 전자제품 제조

사파이어 기판 처리: LED 칩 제조에 사용되는 사파이어 기판에는 진공 흡착이 필요합니다. 흡착력은 기판의 무게를 극복하고 제품 표면이 긁히지 않도록 해야 합니다.

실리콘 카바이드 척은 우수한 성능으로 인해 고급 제조 분야의 핵심 소모품이 되었으며, 반도체, 광전지, 정밀 제조 등 산업의 기술 발전을 촉진했습니다.