다공성 알루미나 척

Semicorex Porous Alumina Chucks는 가장 섬세한 웨이퍼를 위해 제작되었습니다. 그들의 다공성 설계는 척 표면에 걸쳐 일관된 진공 분포의 보증을 제공하여 국소 응력을 줄이고 에지 치핑 및 파손을 방지하는 데 도움이됩니다. 기계적 클램핑 (고체 또는 기타)은 미세 다공성 구조가 마모를 방해하고 부드러운 보류를 제공하기 때문에 웨이퍼를 안전하게 고정시키면서 과도한 제한 기계적 응력없이 섬세한 웨이퍼를 보유하는 미세 다공성 네트워크만큼 효과적이지 않습니다. 전체 척 표면에 걸쳐 균일 한 흡착의 필요성은 특히 자동화 된 처리 중에 훨씬 적은 스트레스를 견딜 수 있고 높은 정밀 처리 단계를 실행하는 동안 더 크고 얇은 웨이퍼의 경우 특히 중요합니다.

35-40% 다공성에 최적화 된 척은 공기를 대피하는 동시에 공기를 대피하는 데 도움이되는 상호 연결 모공 네트워크를 개발하면서 웨이퍼를 공정력에 대비하기에 충분한 기계적 강도를 제공합니다. 이는 진공 상태 유지력이 복잡한 공정 순서를 수행하면서 웨이퍼를 빠르게 연속적으로 움직일 때 안정적으로 유지됩니다. 미세 다공성 네트워크 내의 흡착은 진공 시스템 내에서 압력의 차이를 단순히 생성하는 것보다 더 많은 안정성을 제공합니다.

검은 색 알루미나 (Alumo₃) 자체는 단단하고 내마모하며 화학적으로 불활성이기 때문에 궁극적 인 재료입니다. 그것은 면적으로 표면을 저하시키지 않으며 웨이퍼의 반복적 인 사이클 (배치/ 진공 흡착/ 냉각)을 통해 영향을받지 않습니다. 검은 색알루미나따라서 치수 적으로 안정적이므로 공정 (가열 및 냉각) 또는 환경에서 자연스럽게 발생하는 온도 변화에도 불구하고 변하지 않습니다.

화학 저항은 검은 색 알루미나의 또 다른 주요 장점입니다. 척은 구조적 무결성을 손상시키지 않으면 서 공격적인 청소, 혈장 및 에칭 환경에서 작동 할 수 있습니다. 불활성은 웨이퍼 표면의 오염을 방지하여 높은 공정 순도와 클린 룸 표준에 대한 준수를 보장합니다.

미세 다공성 구조는 또한 얇고 부서지기 쉬운 웨이퍼에서 응력 농도를 완화시키는지지 표면을 제공합니다. 정밀한 표면 평탄도와 매끄러운 표면 마감 처리와 함께, 다공성 알루미나 척은 웨이퍼의 무결성을 손상시킬 수있는 마이크로 크랙 및 흠집의 발생을 최소화합니다.

알루미나 세라믹뛰어난 경도, 높은 기계적 강도, 낮은 열 확장 계수 및 우수한 열 안정성을 갖추고있어 정밀 반도체 적용을위한 실용적인 재료입니다. 또한 화학적 불활성은 산, 알칼리 및 플라즈마를 견딜 수 있음을 의미하지만 마모 저항 특성은 내구성을 보장하고 이러한 장점은 알루미나를 미세 다공성 진공 척을위한 선택의 재료로 만들고 성능의 신뢰성과 예측 가능성을 제공합니다.

결론적으로, 다공성 알루미나 척은 균일하고 생존 가능한 웨이퍼 취급을 공급하도록 설계되었습니다. 미세 다공성 흑인 알루미나 구조는 진공 흡착 (균일 성)을 제공하는 동시에 기계적 스트레스 및 웨이퍼 손상의 감소를 최소화합니다. 척으로서, 뛰어난 열, 기계적 및 화학적 특성과 함께 실질적이고 최적의 다공성은 가혹한 제조 조건에서 작동의 웨이퍼 안전, 가치 및 신뢰성을 최적화하는 데 도움이됩니다. 다공성 알루미나 척이 제조업체를 제공 할 수있는 강력하고 균일하고 안전한 취급의 우수한 조합은 단순히 드물고 독특합니다.