질화알루미늄 세라믹 척

알루미늄 질화물 세라믹 척은 반도체 웨이퍼 처리를 위한 최첨단 솔루션을 나타내며, 다양한 제조 단계에서 웨이퍼를 제자리에 안전하게 고정하도록 특별히 설계되었습니다. ESC(정전기 척) 기능을 하는 이 혁신적인 장치는 질화알루미늄 세라믹의 탁월한 특성을 활용하여 정밀하고 안정적인 웨이퍼 고정을 보장합니다.

Semicorex 알루미늄 질화물 세라믹 척은 정전기력을 사용하여 웨이퍼를 표면에 단단히 고정합니다. 이는 전략적으로 고전압으로 편향된 통합 전극을 갖춘 세심하게 설계된 플래튼을 통해 달성됩니다. 그 결과, 플래튼과 웨이퍼 사이에 정전기적 유지력이 형성되어 처리 단계 전반에 걸쳐 웨이퍼가 제자리에 효과적으로 고정됩니다.

질화알루미늄 세라믹 척의 뛰어난 특징 중 하나는 높은 열 전도성과 절연 특성의 놀라운 조합입니다. 이러한 독특한 특성의 조합으로 인해 ESC 응용 분야에 이상적인 재료 선택이 됩니다. 높은 열 전도성은 효율적인 열 방출을 보장하며, 이는 처리 중 웨이퍼 전체에 균일한 온도 분포를 유지하는 데 중요합니다. 동시에 탁월한 절연 특성은 척과 웨이퍼 사이에 전기적 절연을 제공하여 민감한 반도체 부품에 대한 전기 간섭이나 손상 위험을 최소화합니다.

알루미늄 질화물 세라믹 척은 기존 척 소재에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. 견고한 구조로 인해 장기적인 내구성이 보장되며, 반도체 제조 환경의 엄격한 요구 사항을 견딜 수 있습니다. 또한 고온 공정과의 호환성과 열팽창에 대한 저항성은 일관되고 고품질의 웨이퍼 처리 결과를 달성하는 데 필수적인 도구입니다.