질화알루미늄 정전척

알루미늄 질화물 정전기 척은 정전기력을 활용하여 다양한 반도체 제조 공정 중에 웨이퍼를 안전하게 고정합니다. 이 방법을 사용하면 기계식 클램프나 진공 시스템이 필요하지 않아 미립자 생성 위험과 섬세한 웨이퍼에 대한 기계적 응력이 줄어듭니다. 질화알루미늄 정전기 척의 주요 장점 중 하나는 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 매우 균일하고 안정적인 정전기력을 생성하는 능력입니다. 이는 일관된 접촉을 보장하고 처리 중 웨이퍼 미끄러짐이나 변형을 방지하여 증착된 필름, 에칭된 형상 및 기타 중요한 매개변수의 균일성을 향상시킵니다. 또한 균일한 클램핑력은 웨이퍼 왜곡을 최소화하여 장치 성능과 수율을 향상시킵니다.

열적 특성에 있어서 질화알루미늄 정전척의 높은 열 전도성은 고온 공정 중에 효율적인 열 방출을 가능하게 하여 열 스트레스를 방지하고 웨이퍼 전체에 균일한 온도 분포를 보장합니다. 이는 국부적인 가열이 장치 성능에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 급속 열 처리 및 플라즈마 에칭과 같은 응용 분야에서 매우 중요합니다. 또한, 반도체 제조 공정에는 급격한 온도 변화가 수반되는 경우가 많습니다. 질화알루미늄 정전기 척의 높은 열충격 저항 덕분에 성능 저하나 균열 없이 갑작스러운 온도 변화를 견딜 수 있어 장기간 사용 시 척의 수명과 안정적인 성능이 보장됩니다. 게다가 AlN은 실리콘 웨이퍼와 거의 일치하는 열팽창계수(CTE)를 가지고 있습니다. 이러한 호환성은 열 순환 중에 웨이퍼-척 인터페이스에서 유발되는 응력을 최소화하여 웨이퍼 휘어짐, 왜곡 및 장치 수율과 성능에 영향을 미칠 수 있는 잠재적인 결함을 방지합니다.

AlN은 높은 굽힘 강도와 파괴 인성을 지닌 기계적으로 견고한 재료입니다. 이러한 고유한 강도 덕분에 질화알루미늄 정전기 척은 대량 제조 중에 발생하는 기계적 응력을 견딜 수 있어 일관된 성능과 연장된 작동 수명을 보장합니다. 반면, AlN은 반도체 공정에 일반적으로 사용되는 광범위한 화학 물질 및 플라즈마에 대해 탁월한 저항성을 보여줍니다. 또한 높은 온도에서도 탁월한 내산화성을 나타내어 질화알루미늄 정전 척의 표면이 작동 수명 내내 깨끗하고 오염되지 않은 상태로 유지됩니다.

Semicorex 알루미늄 질화물 정전기 척은 다양한 웨이퍼 직경과 공정 요구 사항을 수용할 수 있도록 다양한 크기와 두께로 제공됩니다. 이러한 적응성으로 인해 연구 개발부터 대량 생산에 이르기까지 광범위한 반도체 제조 응용 분야에 적합합니다.