CVD SiC 코팅 흑연 서셉터

Semicorex CVD SiC 코팅 흑연 서셉터는 반도체 웨이퍼 취급 및 처리에 사용되는 특수 도구입니다. 서셉터는 온도와 재료 특성을 정밀하게 제어하여 기판의 박막, 에피택셜 층 및 기타 코팅의 성장을 촉진하는 데 중요한 역할을 합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

CVD SiC 코팅 흑연 서셉터는 반도체 웨이퍼 또는 기타 기판 재료에 대한 박막 및 코팅의 제어된 증착을 위한 최적의 열 환경을 생성하도록 세심하게 설계된 구성 요소입니다. 이는 CVD 반응기 내에서 중요한 요소로, 증착 공정 중에 기판을 고정하고 배치하기 위한 열원이자 플랫폼 역할을 합니다.

장점:

정밀한 증착: CVD SiC 코팅 흑연 서셉터를 사용하면 박막과 코팅을 제어되고 정밀하게 증착할 수 있어 재현 가능한 고품질 결과를 얻을 수 있습니다.

Reduced Contamination: The SiC coating minimizes the risk of contamination from the susceptor itself, ensuring the purity of the deposited materials.

수명 및 내구성: SiC 코팅은 서셉터의 산화 및 화학 반응에 대한 저항성을 강화하여 장기간 사용 시 수명과 신뢰성을 높여줍니다.