Semicorex CVD SiC 코팅 흑연 서셉터는 반도체 웨이퍼 취급 및 처리에 사용되는 특수 도구입니다. 서셉터는 온도와 재료 특성을 정밀하게 제어하여 기판의 박막, 에피택셜 층 및 기타 코팅의 성장을 촉진하는 데 중요한 역할을 합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
CVD SiC 코팅 흑연 서셉터는 반도체 웨이퍼 또는 기타 기판 재료에 대한 박막 및 코팅의 제어된 증착을 위한 최적의 열 환경을 생성하도록 세심하게 설계된 구성 요소입니다. 이는 CVD 반응기 내에서 중요한 요소로, 증착 공정 중에 기판을 고정하고 배치하기 위한 열원이자 플랫폼 역할을 합니다.
장점:
정밀한 증착: CVD SiC 코팅 흑연 서셉터를 사용하면 박막과 코팅을 제어되고 정밀하게 증착할 수 있어 재현 가능한 고품질 결과를 얻을 수 있습니다.
오염 감소: SiC 코팅은 서셉터 자체의 오염 위험을 최소화하여 증착된 재료의 순도를 보장합니다.
수명 및 내구성: SiC 코팅은 서셉터의 산화 및 화학 반응에 대한 저항성을 강화하여 장기간 사용 시 수명과 신뢰성을 높여줍니다.