Epi-SiC 수용체

세부 사항에 세심한 주의를 기울여 설계된 부품인 Semicorex Epi-SiC 서셉터는 최첨단 반도체 제조, 특히 에피택셜 애플리케이션에 없어서는 안 될 요소입니다. 정밀도와 혁신을 구현한 Epi-SiC 서셉터의 설계는 웨이퍼에 반도체 재료의 에피택셜 증착을 지원하여 탁월한 효율성과 성능 신뢰성을 보장합니다. 경쟁력 있는 재정적 고려 사항과 결합된 시장 선도적인 품질에 대한 Semicorex의 약속은 귀하의 반도체 웨이퍼 운송 요건을 충족하기 위한 파트너십 구축에 대한 우리의 열의를 확고히 합니다.

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제품 설명

Semicorex Epi-SiC 서셉터는 고온 내구성, 화학적 불활성 및 우수한 열 확산이 결합된 에피택시 성장 노력과 동의어인 집중적 조건에 직면하여 탄력성과 효율성의 모범입니다. SiC 코팅을 적용하면 Epi-SiC 서셉터의 열 특성이 크게 향상됩니다. 이러한 향상은 웨이퍼 가열에 필수적인 균일한 열 분포를 촉진하며, 이는 반도체 웨이퍼 전체에 일관된 고품질 에피택셜 층을 증착하는 데 중추적입니다.

웨이퍼 에피택셜 공정의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 맞춤 제작된 Epi-SiC 서셉터는 용해로 환경 내에서 웨이퍼의 원활한 운송을 뒷받침합니다. 견고한 디자인은 웨이퍼 변위 또는 손상을 방지하는 보루로서 에피택셜 레이어 개발의 중요한 단계 전반에 걸쳐 손상 발생을 완화합니다. 또한 Epi-SiC 서셉터는 아래 흑연 기판에 대한 보호 장벽 역할을 하여 에피택시 공정으로 인해 발생할 수 있는 화학적 상호 작용 및 마모로부터 기판을 보호합니다.

탄력 있는 흑연 코어와 보호용 SiC 코팅의 융합은 Epi-SiC 서셉터의 성능 지표를 강화할 뿐만 아니라 서비스 가능 수명을 크게 연장합니다. 그 결과 반도체 생산 기업의 지속적인 운영 절감 형태로 배당금을 제공하는 투자가 이루어졌으며, Epi-SiC 서셉터는 제조 운영을 최적화하려는 기업에게 현명한 선택이 되었습니다.